MFC-Gas-Bronkhorst Archives - (주)엘피엠테크-LPMTECH https://lpmtech.co.kr/portfolio_category/mfc-gas-bronkhorst/ 농축기, 세포배양기, 레귤레이터, 가스혼합기, MFC, 스태틱믹서, 유량계 등 실험장비 및 유체 계측/혼합장비 전문업체 Wed, 02 Jun 2021 05:19:30 +0000 ko-KR hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.7.4 EL-FLOW Classic https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/el-flow-classic/ Mon, 06 Apr 2020 05:23:09 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=17995 Thermal Mass Flow Contorllers for Gases EL-FLOW Classic » Range : lowest range  0.16...8 sccm                   up to highest range 0.4...20 slm » Accuracy : ±1% FS (based on actual calibration) » Connections : 1/4” BSPP female thread;   [...]

The post EL-FLOW Classic appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Thermal Mass Flow Contorllers for Gases

EL-FLOW Classic

» Range : lowest range  0.16…8 sccm
                  up to highest range 0.4…20 slm

» Accuracy : ±1% FS (based on actual calibration)
» Connections : 1/4” BSPP female thread;
                            optional accessories: compression type or face

                            seal couplings in various inch or metric sizes

» Operating pressure : 30 bar
» Settling time : 1~2 seconds
» Analog output/command : 0…5 Vdc or 4…20 mA
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

EL-Flow Classic은 디지털 기능을 뺀 아날로그 시그널을 기본으로 하는 제품입니다.  30bar(g)의 작동 압력에서 0.16~8 sccm ~ 0.4~20 slm의 가스 유량 범위를 측정하고 제어하도록 설계되었습니다.

특징

» 빠른 응답, 뛰어난 반복성
» 비용 효율적인 솔루션
» Analog I/O-signals: 0…5 Vdc or 4…20 mA (sourcing)

적용분야

» 분석 및 환경 측정
» 버너 (Burner) 제어
» 진공 기술
» 표면 처리 설비
» 식품, 제약 및 (석유) 화학 산업

Measurement / Control system

Flow ranges

from 0.16…8 sccm up to 0.4…20 slm;
intermediate flow ranges available

Accuracy (incl. linearity)

±1% FS (based on actual calibration)
Turndown

1 : 50

Repeatability

< 0.2% Rd
Settling time

1…2 seconds

Operating pressure

0…30 bar(g)
Operating temperature

0…50°C

Temperature sensitivity

zero: < 0.1% FS/°C; span: < 0.1% Rd/°C
Warm-up time

30 min. for optimum accuracy

Leak integrity, outboard

< 2 x 10-9 mbar l/s He
Control valve

normally closed solenoid valve

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Seals

Viton®

Process connections

1/4” BSPP female thread;
optional accessories: compression type or face
seal couplings in various inch or metric sizes

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc
Power consumption

max. 320 mA

Analog output/command

0…5 Vdc or 4…20 mA (sourcing output)
Electrical connection
(power + I/O signals)

9-pin D-connector (male)

CE

EMC 2004/108/EC
RoHS 2011/65/EU

Ingress protection (housing)

IP40


Dimensions


* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EL-FLOW Classic appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> IN-FLOW ‘HIGH-FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/in-flow-high-flow/ Fri, 28 Feb 2020 02:36:26 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=17140 Industrial Style Mass Flow Controller for High Gas Flow IN-FLOW 'High-Flow' » Range : lowest range 0.4...20 m3/h up to highest range 220...11000 m3/h » Accuracy : ±1% FS » Connections : compression type or face seal couplings » Operating pressure : 64 bar, 100 bar » [...]

The post IN-FLOW ‘HIGH-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Industrial Style Mass Flow Controller for High Gas Flow

IN-FLOW ‘High-Flow’

» Range : lowest range 0.4…20 m3/h

up to highest range 220…11000 m3/h

» Accuracy : ±1% FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 64 bar, 100 bar
» Settling time : 2…4 seconds
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

2 min. for accuracy ± 2% FS
제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

최대 10″/DN250의 파이프 크기

클린 가스의 고유량을 위한 IN-FLOW 시리즈 MFC에는 IP65 보호 기능을 제공하는 ‘Industrial style’ PC 보드 하우징이 장착되어 있습니다. 가스 흐름을 측정하고 제어하기 위해 제어 밸브를 통합 또는 별도로 장착 할 수 있습니다.

IN-FLOW ‘HIGH-FLOW’ 시리즈

PN 64 bar

PN 100 bar

F-206AI | 0.3 … 200m3/h

F-216AI | 0.3 … 200m3/h

F-206BI | 1 … 375 m3/ h

F-216BI | 1 … 375 m3/h

특징

» 견고한 내후성 하우징 (IP65, 먼지 및 방수)
» 옵션 : Zone2에 대한 ATEX 승인
» 옵션 : FM 승인 Class I, Div.2 (그룹 A,B,C,D;T4)
» 아날로그 또는 디지털 통신 (RS232 또는 필드 버스 인터페이스)

적용분야

» 식품 산업, 화학 및 석유 화학 산업, 발효 시설 및 생명 공학의 공정 가스 측정
» 내부 회계를 위한 가스 소비 측정
» 수소 기술

Measurement / Control system

Accuracy (incl. linearity)
(based on actual calibration)

standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
(±1% FS for ranges 3…5 mln/min;
±2% FS for ranges < 3 mln/min;
±1% FS for ranges > 1670 ln/min;
for ranges > 1100 m3 n/h contact factory)

Turndown

1:50 (in digital mode up to 1:187,5)
Repeatability

< 0.2% Rd

Settling time

standard: 1…2 seconds
Operating temperature

-10…+70°C
for ATEX cat. 3 max. 50°C

Temperature sensitivity

zero: < 0.05% FS/°C;
span: < 0.05% Rd/°C

Pressure sensitivity

0.1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Leak integrity

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

Attitude sensitivity

max. error at 90° off horizontal 0.2%
at 1 bar, typical N2

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS

 

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Process connections

compression type or face seal couplings;
wafer type on series F-106; DIN or
ANSI flanges on series F-107

Seals

standard: Viton®;
options: EPDM, Kalrez® (FFKM)

Ingress protection (housing)

IP65

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc
Power consumption

meter: 70 mA;
controller: max. 320 mA;
add 50 mA for Profibus, if applicable

Analog output/command

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 Ma
(sourcing output)

Digital communication

: standard: RS232
options: PROFIBUS DP, DeviceNetTM
Modbus-RTU, FLOW-BUS

Electrical connection

Analog/RS232

8 DIN (male)
PROFIBUS DP

bus: 5-pin M12 (female)
power: 8 DIN (male)

DeviceNetTM

5-pin M12 (male)
Modbus-RTU/FLOW-BUS

5-pin M12 (male)

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post IN-FLOW ‘HIGH-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> IN-FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/in-flow/ Thu, 20 Feb 2020 07:02:10 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=17080 Industrial Style Mass Flow Controller IN-FLOW » Range : lowest range  0.014...0.7ml/min up to highest range 8...1670l/min » Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS » Connections : compression type or face seal couplings; wafer type on series F-106; DIN or ANSI flanges on series F-107 » [...]

The post IN-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Industrial Style Mass Flow Controller

IN-FLOW

» Range : lowest range  0.014…0.7ml/min

up to highest range 8…1670l/min

» Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
» Connections : compression type or face seal couplings;

wafer type on series F-106; DIN or
ANSI flanges on series F-107

» Operating pressure : 64 bar, 100 bar
» Settling time : standard: 1…2 seconds
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

2 min. for accuracy ± 2% FS
제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

IN-FLOW 시리즈 MFC는 PCB가 산업용 하우징에 장착된 모듈형 MFC 입니다. 컨트롤러는 용도에 따라 조절밸브 내장형/분리형 선택이 가능합니다.
조절밸브의 설계는 모듈타입으로 사용자가 현장에서 교환 또는 교체 할 수 있습니다. 교환 후, 조절밸브의 별도 조정이 필요하지 않으며 노말 오픈 타입 또한 사용 가능합니다.

IN-FLOW 시리즈 모든 모델은 디지털 PC-보드를 갖추고 있어 자가진단, 경보, 카운터, 디지털 통신 (RS-232) 및 원격 제어기능 등이 있습니다. Bronkhorst 디지털 기기는 멀티버스 컨셉으로 높은 유연성을 가지고 있습니다. 옵션에서 인터페이스 보드를 장착하여 쉽게 CANopen®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus, EtherCAT® 또는 FLOW-BUS protocol에 대응 할 수 있습니다(MBC3 pcb 필수).

특징

» 멀티 가스 / 멀티 레인지 기능 옵션 : 자유롭게 프로그래밍 가능한 범위 및 가스 유형
» 압력 등급 64~700 bar (다중 가스 / 다중 범위 기능 최대 10 bar)
» 견고한 내후성 하우징 (IP65, 먼지 및 방수)
» 옵션 : Cat. ATEX 승인 3 구역 2
» 옵션 : FM 승인 Class I, Div. 2 (그룹 A, B, C, D; T4)

적용분야

» 식품 산업, 화학 및 석유 화학 산업, 발효 시설 및 생명 공학의 공정 가스 측정
» 환경 분석에서 샘플 가스 측정
» 내부 회계를 위한 가스 소비 측정
» 환경 공기 샘플링 시스템
» 수소 기술
» 버너 제어

Measurement / Control system

Accuracy (incl. linearity)
(based on actual calibration)

standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
(±1% FS for ranges 3…5 mln/min;
±2% FS for ranges < 3 mln/min; ±1% FS for ranges > 1670 ln/min;
for ranges > 1100 m3 n/h contact factory)

Turndown

1:50 (in digital mode up to 1:187,5)
Repeatability

< 0.2% Rd

Settling time

standard: 1…2 seconds
Operating temperature

-10…+70°C
for ATEX cat. 3 max. 50°C

Temperature sensitivity

zero: < 0.05% FS/°C;
span: < 0.05% Rd/°C

Pressure sensitivity

0.1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Leak integrity

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

Attitude sensitivity

max. error at 90° off horizontal 0.2%
at 1 bar, typical N2

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS

 

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Process connections

compression type or face seal couplings;
wafer type on series F-106; DIN or
ANSI flanges on series F-107

Seals

standard: Viton®;
options: EPDM, Kalrez® (FFKM)

Ingress protection (housing)

IP65

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc
Power consumption

meter: 70 mA;
controller: max. 320 mA;
add 50 mA for Profibus, if applicable

Analog output/command

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 Ma
(sourcing output)

Digital communication

: standard: RS232
options: PROFIBUS DP, DeviceNetTM
Modbus-RTU, FLOW-BUS

Electrical connection

Analog/RS232

8 DIN (male)
PROFIBUS DP

bus: 5-pin M12 (female)
power: 8 DIN (male)

DeviceNetTM

5-pin M12 (male)
Modbus-RTU/FLOW-BUS

5-pin M12 (male)

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post IN-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> IQ+FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/iqflow/ Fri, 26 Jun 2020 08:33:07 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=19018 Ultra Compact Mass Flow Controller IQ+FLOW » Range : lowest range 0.2...10ml/min                   up to highest range 0.1...5l/min » Accuracy : <±1.5%RD ±0.5%FS » Connections [Optional] 10-32 UNF threaded internal nut                 [...]

The post IQ+FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Ultra Compact Mass Flow Controller

IQ+FLOW

» Range : lowest range 0.2…10ml/min
                  up to highest range 0.1…5l/min
» Accuracy : <±1.5%RD ±0.5%FS
» Connections [Optional] 10-32 UNF threaded internal nut
                                            with 1/16″ ferrule (SS316 or Peek);
                                            1/16″ or 1/8″ OD compression type
» Operating pressure : min 1.5…8 psi
                                       max. 3…150 psi
» Output signal : 0…5(10)Vdc or 0(4)…20mA

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

IQ-FLOW Mass Flow Controller는 세계에서 가장 작은 MFC로 연구 및 분석용으로 사용하기 가장 적합한 제품입니다.
크기가 작은 MFC를 연구 및 분석용으로 사용하면 기기 내부의 부피가 작기 때문에 분석 속도가 빨라지며, 사용되는 분석물의 양을 줄일 수가 있습니다.

특징

» 컴팩트한 크기, 경제적인 솔루션
» 아날로그 or 디지털 통신
» 미리 테스트 된 “Plug and Play” 매니폴더 조립품으로 사용자의 테스트 요구사항 감소
» 상단 탑재 모듈로 용이한 접근

적용분야

» Flow – Pressure control at the injector side of a GC
» Flow control at the detector side of a GC or HPLC
» Flow control in an FID (Flame Ionisation Detector)

Measurement / control system

Flow range
(intermediate ranges available)

min. 0.2…10 ml/min
max. 0.1…5 l/min
(based on N2)

Accuracy (incl. linearity)
(based on actual calibration)

< ±1.5% RD + ±0.5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)

Repeatability

for flows < 20 ml/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 ml/min: < ±0.5% RD

Turndown ratio

1:50 (2…100%)
Operating pressure

0 … 10 barg

Fluids

Dry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)

Multi fluid capability

storage of max. 8 calibration curves
Settling time

(in control, typical)

t98% down to 300 msec,
700 msec typical

Operating temperature

5 … 50 °C
Temperature sensitivity

span: 0.2% RD/°C; zero: 0,01 ml/min/°C

Max. Kv-value

2.37 x 10-3
Leak integrity, outboard

1 x 10-8 mbar∙l/s He

Attitude sensitivity

max. error at 90° off horizontal 0,5ml/min at 1 bar, typical N2

Mechanical parts

Material (wetted parts)

aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body
Process connections

optional: 10-32 UNF threaded internal
nut with 1/16” ferrule (SS316 or Peek);
1/16” or 1/8” OD compression type

Seals

standard: Viton®; other on request

Weight

0.2 kg

Ingress protection

IP40

Max. differential pressure
across control valve

9 bar dif.

Electrical properties

Readout sample time

2 msec
Power supply

+15 … 24 Vdc

Max. power consumption

100 mA
Analog output

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA
(sourcing output)

Digital communication

RS232, RS485
(Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)

Electrical connection

Power/Analog/RS232/RS485

RJ45 modular jack

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post IQ+FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> EX-FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/ex-flow/ Thu, 25 Jun 2020 02:25:35 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=18992 EX-Proof Mass Flow Controllers for gases EX-FLOW » Range : lowest range 0.16...8ml/min                   up to highest range 7.5...375m3/h » Accuracy : ±1% of rate » Connections : compression type or face seal couplings           [...]

The post EX-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

EX-Proof Mass Flow Controllers for gases

EX-FLOW

» Range : lowest range 0.16…8ml/min
                  up to highest range 7.5…375m3/h
» Accuracy : ±1% of rate
» Connections : compression type or face seal couplings
                            wafer type on series F-106
                            DIN or ANSI flanges on series F-107
» Operating pressure : max. 400 bar
» Output signal : 15…20mA

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

EX-FLOW는 견고한 디자인의 Mass Flow Controller로 가스 유량 (공기 환산)을 측정하고 제어하기 위하여 제어 밸브 통합 또는 별도로 장착할 수 있습니다.

특징

» ATEX 승인 Cat.2, Zone1
» 최대 400bar의 압력 등급
» 견고한 내후성 하우징 (IP65, 먼지 및 방수)

EX-FLOW MFC 시리즈

PN 64 bar

PN 100 barPN 400 bar

F-200CX / 9.5 … 9.5 ml/min

F-210CX / 9.5 … 9.5 ml/min

F-230MX / 10 … 500 ml/min

F-201CX / 0.015 … 20 l/min

F-211CX / 0.015 … 20 l/minF-231MX / 0.5 … 10 l/min
F-201AX / 5 … 100 l/minF-211AX / 5 … 100 l/min

F-231MX / 0.5 … 10 l/min

F-202AX / 30 … 250 l/minF-212AX / 30 … 250 l/min

F-232MX / 10 … 100 l/min

F-203AX / 200 … 1250 l/min

F-213AX / 200 … 1250 l/min
F-206AX / 20 … 200 m3/hF-216AX / 20 … 200 m3/h

F-206BX / 50 … 375 m3/h

F-216BX / 50 … 375 m3/h

적용분야

» Process gas measurement or control in (petro-) chemical industries
» Fuel cell technology
» Gas distribution systems
» Hydrogenation processes
»Gas consumption measurement for internal accounting
»Heating or bio gas production

Measurement / Control System

Accuracy (incl. linearity)
(based on actual calibration)

standard: ±1% FS;
other on request
(for flow > 1000 m3 n/h contact factory)

Turndown

1 : 50 (2 … 100%)
Repeatability

< ±0.2% Rd

Time constant

5 seconds

Operating temperature

EX-FLOW sensor: -10…+70°C;
XB-coil: -40…+ 65°C
XC-coil: -40…+ 65°C

Temperature sensitivity

zero: < ±0.05% FS/°C;
span: < ±0.05% Rd/°C

Leak integrity

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivity

max. error at 90° off horizontal 0.2%
at 1 bar, typical N2

Machanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Process connections

compression type or face seal couplings;
wafer type on series F-106;
DIN or ANSI flanges on series F-107

Seals

standard: Viton®
options: EPDM, FFKM (Kalrez®)

Ingress protection (housing)

IP65

Electrical properties

Signal circuit

type of explosion protection: intrinsic safety Ex ib IIC, only for connection to a certified intrinsically safe circuit with the following maximum values:
Ui = 28 V, Ii = 98 mA, Pi = 686 mW
The effective internal capacitance between:
Terminals 1 and 3: Ci = 1 nF;
Effective internal inductance: Li = 0.3 mH

Output signal

15…20 mA (linear)
Terminal connection, cable gland M16x1.5

XB-coil

Coil voltage max. 28 V/110mA;
295 Ohm at 20°C, cable gland M20x1.5

XC-coil

Coil voltage max. 24 V;
65 Ohm at 20°C, cable gland M20x1.5;
Pmax = 9W at 20°C

Models and flow ranges (based on Air) ; PN64 / PN100

Model

min. flowmax. flow
F-200CX/F-210CX0.2…10 ml/min

0.2…10 ml/min

F-201CX/F-211CX

0.22…11 ml/min0.4…20 l/min
F-201AX/F-211AX0.1…5 l/min

2…100 l/min

F-202AX/F-212AX

0.2…10 l/min5…250 l/min
F-203AX/F-213AX2…100 l/min

25…1250 l/min

F-206AX/F-216AX

0.4…20 m3/h4…200 m3/h
F-206BX/F-216BX1…50 m3/h

10…500 m3/h

MFCs for high-pressure / high-ΔP applications ; PN400

Model

min. flowmax. flow
F-230MX0.2…10 ml/min

10…500 ml/min

F-231MX

10…500 ml/min0.2…10 l/min
F-232MX0.2…10 l/min

2…100 l/min

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EX-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> mini CORI-FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/mini-cori-flow-3/ Wed, 08 Jan 2020 05:13:52 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=15965 Ultra Low Flow Coriolis MFC mini CORI-FLOW » Range : lowest range 0.05…5g/h                   up to highest range 3…300kg/h » Accuracy : ±0.5% of rate » Connections : compression type (welded) or face seal couplings » Operating pressure : [...]

The post mini CORI-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Ultra Low Flow Coriolis MFC

MFC,MFM

mini CORI-FLOW

» Range : lowest range 0.05…5g/h
                  up to highest range 3…300kg/h

» Accuracy : ±0.5% of rate
» Connections : compression type (welded) or face seal couplings
» Operating pressure : max. 100 bar
» Settling time : 1 sec.
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : > 30 min. for optimum accuracy

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

mini CORI-FLOW 시리즈 Mass Flow Controller는 코리올리 질량측정 원리에 기초하여 작동되는 초소형 정밀 기기입니다. mini CORI-FLOW는 뛰어난 유량 측정 성능을 제공합니다. 유체가 튜브를 통과할 때, 코리올리의 힘은 가변 위상 시프트 센서에 의해 검출되고, 일체형으로 탑재된 PC보드에 전달된 신호는 실제 유량과 엄격하게 비례되어 제어, 출력됩니다. 코리올리 질량 유량 측정은 매우 빠르고 정확하며, 설치가 용이하며 양방향 측정이 가능합니다. mini CORI-FLOW는 보조 출력으로 유체의 밀도, 온도를 제공합니다.

특징

» 유체특성에 독립적인 직접 유량측정 방식
» 빠른 응답시간
» 높은 정확도 (0,2% Rd for liquids, 0,5% Rd for gases)
» 추가적으로 온도와 밀도값 출력가능
» 매우 작은 내부 용적과 컴팩트한 디자인
» 쉬운 설치 (가스 버블에 의한 낮은 리스크)
» 멀티 레인지: 디지털 인터페이스를 통한 현장에서 쉽게 제설정 할수있는 유량 레인지 (span 1:4000)

MINI CORI-FLOW MFC 시리즈

PN 5bar

PN 100bar
ML120V21 | 0.05 … 200 g/h

 

M12V14I | 0.1 … 200 g/h

 

M13V14I | 1 … 2000 g/h

 

M14V14I | 0.03 … 30 kg/h

“Multibus” Digital Mass Flow Meters

ML120 Series mini CORI-FLOW™ 질량 유량계는 아날로그 및 RS-232 및 옵션으로 PROFIBUS DP, PROFINET, CANopen®, DeviceNet, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT or FLOW-BUS등의 디지털 통신을 지원합니다.

적용분야

» Semiconductor processing
» Solar cell and FPD technology
» Food and pharmaceutical industries
» Medical, microchemical or analytical installations
» Calibration laboratories

동영상

Flow ranges

Minimum full scale

5g/h
Nominal flow

100g/h

Maximum full scale

200g/h
Minimum flow

50mg/h

Rangeability

1:4000

Performance

Mass flow accuracy

±0.5% of rate

Repeatability

±0.05% of rate ±1/2 (ZS* x 100/flow)% based on digital output
Warm-up time

approx. 1 /2 hour after power up for optimum performance

Zero stability (ZS)

< ±10 mg/h
Density accuracy

< ±5 kg/m3

Temperature accuracy

±0.5 °C

Temperature effect

on zero: < 10°C on span: <0,005% Rd/°C self heating (at zero flow): < 10°C

Mounting

Any position, attitude sensitivity negligible
Device temperature

0…70°C

Response time, meter (t98%)

≤200 msec
Settling time, controller

±1s (<2% of setpoint)

Mechanical parts

Material (wetted parts)

Stainless steel 316L or comparable
Sensor

Single tube, DN 0.25; frequency 170 Hz ±20 Hz

Process connections (welded)

Compression type or face seal couplings
Seals

Kalrez®

Ingress protection (housing)

IP40
Valve

Piezoelectric + metal plunger

Leak integrity

Outboard < 2×10-9mbar l/s He
Pressure rating

200 bar

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc ±10% Max. ripple recommended: 50 mV tt
Power consumption

max. 2.5 W

Analog output

0…5 (10) Vdc, min. load impedance > 2 kΩ; 0 (4)…20 mA (sourcing), max. load impedance < 375 Ω

Analog setpoint

0…5 (10) Vdc, min. load impedance > 100 kΩ; 0 (4)…20 mA, load impedance ~250 Ω

Digital communication

Standard RS232; Options: PROFIBUS DP, DeviceNet™, Modbus RTU/ASCII, FLOW-BUS, EtherCAT®, PROFINET

Electrical connections

Analog/RS232

9-pin D-connector (male)
PROFIBUS DP

bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin male D-connector (male)

DeviceNet™

5-pin M12 connector (male)
Modbus (RTU/ASCII)/FLOW-BUS

RJ45 modular jack

EtherCAT®/PROFINET

2 x RJ45 modular jack (in/out)

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post mini CORI-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> EL-FLOW Base https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/el-flow-base/ Tue, 07 Jan 2020 08:26:13 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=15782 Laboratory style GAS MFC for OEM Applications EL-FLOW Base » Range : lowest range 0.2...10ml/min                    highest range 4...200l/min » Accuracy : ±1% of rate » Connections : compression type (welded) or face seal couplings » Operating pressure : [...]

The post EL-FLOW Base appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Laboratory style GAS MFC for OEM Applications

MFC

EL-FLOW Base

» Range : lowest range 0.2…10ml/min
                   highest range 4…200l/min
» Accuracy : ±1% of rate
» Connections : compression type (welded) or face seal couplings
» Operating pressure : max. 10 bar
» Settling time : 1 sec.
» Output signal : Analog, RS232 or Modbus-RTU or -ASCII (RS485)
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
                                2 min for accuracy ± 2% FS

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

EL-FLOW® Base Series는 일반적인 가스 유량 어플리케이션에서 정확한 측정, 빠른 응답 및 안정적인 제어를 제공합니다. EL-FLOW Base는 코팅 또는 용접 어플리케이션과 같은 (OEM) 시스템에 설치하기 위한 경제적인 솔루션입니다. 아날로그 I/O 신호와 디지털 RS232 통신 및 Modbus-RTU를 표준 기능으로 제공합니다.

특징

» 정확한 질량 유량 측정 및 제어
» 빠른 반응, 뛰어난 반복성
» 비용 효율적인 솔루션
» 아날로그 I / O 신호 : 0… 5 (10) Vdc 또는 0 (4)… 20 mA
» RS232 통신
» Modbus-RTU 또는 -ASCII

EL-FLOW Base MFC 시리즈

Model

Min. flow

Max. flow

F-201CB

0.2…10ml/min0.4…20l/min
F-201AB0.4…20l/min

1.4…70l/min

F-202BB

1.4…70l/min

4…200l/min

적용분야

» 분석 기기
» 버너 제어 (용접)
» 표면 처리 (CVD, 코팅, 경화)
» 태양 전지 제작
» 식품, 제약 및 (석유) 화학 산업 및 발효 설비의 공정 가스 측정 및 제어

Performance

Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)

±1% FS
Repeatability

< 0.2% Rd

Settling time (controller)

approx. 1 second

Control stability

< ±0.1% FS (typical for 1 ln/min N2)

Turndown

1 : 50 (2…100%)

Operating pressure

0…10 bar(g)
Operating temperature

F-201CB/AB : 0…50°C F-202BB : 10…50°C

Temperature sensitivity

zero: < 0.1% FS/°C span: < 0.1% Rd/°C

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy
Leak integrity, outboard

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

Control valve

normally closed solenoid valve F-201CB/F-201AB: Kv-max = 6,6 x 10-2 F-202BB: Kv-max = 3,5 x 10-1

 

Mechanical parts

Material (wetted parts)

Stainless Steel 316 or equivalent
Seals

standard: Viton® option: Kalrez® (FFKM)

Process connections

1/4” BSPP female thread optional accessories: compression type or face seal couplings in various inch or metric sizes

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc
Power consumption

max. 320 mA

Analog output/command

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

RS232 or Modbus-RTU or -ASCII (RS485)
Electrical connection

9-pin D-connector (male)

EMC

EU declaration
Ingress protection (housing)

IP40

Electrical connections

Analog/RS232

9-pin D-connector (male)
PROFIBUS DP

bus: 9-pin D-connector (female) power: 9-pin D-connector (male)

DeviceNet™

5-pin M12-connector (male)
EtherCAT®/PROFINET

2 x RJ45 modular jack (in/out)

Modbus/FLOW-BUS

RJ45 modular jack
CE

EMC 2014/30/EU, RoHS 2011/65/EU

IEC 61010-1

2010
Ingress protection (housing)

IP40

*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EL-FLOW Base appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> EL-FLOW Prestige https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/el-flow-prestige/ Mon, 06 Jan 2020 05:45:29 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=15739 High Performance Mass Flow Controller EL-FLOW Prestige » Range : lowest range 0.014...0.7ml/min                   up to highest range 2...100l/min » Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS » Connections : compression type or face seal couplings » Operating [...]

The post EL-FLOW Prestige appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

High Performance Mass Flow Controller

MFC,MFM

EL-FLOW Prestige

» Range : lowest range 0.014…0.7ml/min
                  up to highest range 2…100l/min

» Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 10/64/100 bar
» Settling time : fast : < 500 msec
                             standard :< 1 sec

                             slow : < 2 sec

» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

EL-FLOW® Prestige, 고객들의 요청에 의해 탄생한 차세대 MFC는 다양한 기능과 사용자측의 편의성에 초점을 맞춘 질량 유량계중 최고의 정점에 도달한 혁신적인 제품입니다. EL-FLOW Prestige는 멀티가스 / 멀티 유량범위 (MG/MR) 기능을 지원하여 100개의 가스를 선택하여 측정, 제어할 수 있습니다.

The Mass Flow Meter/Controller that adapts to your process

EL-FLOW Prestige MFC의 제어 성능은 사용처의 셋 포인트의 변화에 오버 플로우 없이 신속하게 대응하도록 설계되었습니다. 또한, 컨트롤러는 동일한 라인상 가스를 소비하는 다른 장치에 의한 충격과 압력 변동에 기계적 내구성이 뛰어나고, 즉각적인 유량보상이 이루어집니다. 옵션으로 사용자의 프로세스 요구에 따른 MFC의 추가적인 빠른 응답 또는 매끄러운 제어를 위해 튜닝을 할 수 있습니다 (settling times t98% down to 500 msec). 다이나믹한 작동을 위해 무료로 제공되는 소프트웨어 FlowTune™/ FlowPlot™을 통하여 작동속도를 조정함으로써 사용자의 요구에 의한 완벽한 설정이 가능합니다.

Select the I/O options of your preference

다양한 입/출력 옵션은 D-SUB 9-pin 을 통하여 이루어집니다. 다양한 아날로그 신호 및 스탠다드 RS-232통신, RS-485통신, 디지탈 주파수, 펄스출력, 알람출력, 리셋, 밸브퍼지, 밸브닫기, 아날로그 밸브 시그널 등 출력 가능합니다.  또한, Bronkhorst는 다양한 통합 필드버스 옵션을 다음과같이 제공합니다 : CANopen®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT® and FLOW-BUS. 특히 FLOW-BUS는 Bronkhorst® 에 의해 개발된 RS-485기반의 필드버스입니다.  FLOW-BUS™ 인터페이스는 LabVIEW™ (graphical software by National Instruments) 작업고객의 편의를 위해 Bronkhorst는 인증된 plug & play 인스트루먼트 드라이버를 제공합니다.

특징

» 높은 정확도 (표준 0.5% Rd +0.1 FS)
» 최대 1:150의 디지털 모드 범위
» 다중 가스 / 다중 범위 기능
» 압력 등급 10/64/100bar
» 금속 하우징

EL-FLOW Prestige MFC 시리즈

Model

Flow range (N2)Pressure rating
FG-200CV0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min

64 bar(g)/1000 psi(g)

FG-200CVP

0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min10 bar(g)/150 psi(g)
FG-210CV0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min

100 bar(g)/1500 psi(g)

FG-210CVP

0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min100 bar(g)/1500 psi(g)
FG-201CV0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min

64 bar(g)/1000 psi(g)

FG-201CVP

0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min10 bar(g)/150 psi(g)
FG-211CV0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min

100 bar(g)/1500 psi(g)

FG-211CVP

0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min100 bar(g)/1500 psi(g)
FG-201AV0.2…10ml/min up to 2…100ml/min

64 bar(g)/1000 psi(g)

FG-211AV

0.2…10ml/min up to 2…100ml/min

100 bar(g)/1500 psi(g)

적용분야

» 분석/환경 장비

» 식품, 화학 및 석유 화학 산업의 가스 흐름 모니터링

» 가스 분배 시스템의 가스 소비 측정

» 가스 누출 감지

» 반도체 제조

» 표면 처리 설비

동영상

Measurement/Control system

Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration, according SEMI E69)

standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS (±0.8% Rd plus ±0,2% FS for ranges 3…5 ml/min; ±1% Rd plus ±1% FS for ranges < 3 ml/min)

Repeatability

0-20% < ± 0.04% FS; 20-100% < ± 0.2% Rd

Turndown

1:150; in analog mode 1:50
Multi Gas/Multi Range gases

embedded gas data for 100 unique gases (see FAQ section on our website) plus any mixture of maximum 5 of these gases.

Settling time

fast: < 500 msec standard: < 1 sec slow: < 2 sec

Operating temperature

-10…70°C

Temperature sensitivity

zero: < 0.02% FS/°C; span: < 0.025% Rd/°C

Pressure sensitivity

standard: < 0.15% Rd/bar typical N2; with pressure correction: < 0.02% Rd typical N2

Accuracy of integrated pressure sensor (PI option)

± 0.25% FS at ambient temperature

Leak integrity, outboard

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivity

max. error at 90º off horizontal 0,07% FS at 1 bar, typical N2

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable, degreased for use on oxygen (O2)

Process connections

compression type or face seal couplings

Seals

standard: Viton® options: EPDM, Kalrez® (FFKM), FDA and USP Class VI approved compounds (model FG-201CS excluded)

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc

Max. power consumption (controllers based on normally closed valve, pin 5 not used) :

Supply

at voltage I/Oat current I/O
Controller15V202mA

225mA

24V

128mA

146mA

If applicable:    PROFIBUS DP

add 53 mA (15 V supply) or 30 mA (24 V supply)

PROFINET

add 76 mA (15 V supply) or 48 mA (24 V supply)

EtherCAT®

add 66 mA (15 V supply) or 41 mA (24 V supply)

DeviceNet™

add 48 mA (24 V supply)

Analog output/command

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

standard: RS232; options: PROFIBUS DP, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU or ASCII, FLOW-BUS

Electrical connections

Analog/RS232

9-pin D-connector (male)
PROFIBUS DP

bus: 9-pin D-connector (female) power: 9-pin D-connector (male)

DeviceNet™

5-pin M12-connector (male)
EtherCAT®/PROFINET

2 x RJ45 modular jack (in/out)

Modbus/FLOW-BUS

RJ45 modular jack
CE

EMC 2014/30/EU, RoHS 2011/65/EU

IEC 61010-1

2010
Ingress protection (housing)

IP40

*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EL-FLOW Prestige appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> EL-FLOW Metal Sealed https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/el-flow-metal-sealed-f-201cm/ Mon, 06 Jan 2020 02:11:30 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=15706 EL-FLOW Metal Sealed F-201CM » Range : lowest range 0.12...6mL/min                  highest range 1...50L/min» Accuracy : ± 0.5% Rd plus ± 0.1% FS» Connections : 1/4” face seal male» Operating pressure : max. 1000 psig» Settling time : 1 second typical above [...]

The post EL-FLOW Metal Sealed appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

EL-FLOW Metal Sealed

MFC

F-201CM

» Range : lowest range 0.12…6mL/min
                  highest range 1…50L/min

» Accuracy : ± 0.5% Rd plus ± 0.1% FS
» Connections : 1/4” face seal male
» Operating pressure : max. 1000 psig
» Settling time : 1 second typical above 5% FS;
                             option: down to 600 msec

» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
                                2 min for accuracy ± 2% FS

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　

F-201CM MFC는 반도체 시장 및 기타 고순도 가스 응용 분야의 요구사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기기는 표면 품질이 우수하며 금속 누출 방지를 보장하는 금속 간 밀봉으로 모듈식 구조로되어 있습니다. F-201CM은 진공 1000 psig (64 bar)의 작동 압력에서 0.12 ~ 6 sccm ~ 1 ~ 50 slm (N 2 기준 )  사이의 유량 범위를 정확하게 측정하고 제어하는 ​​데 적합합니다 . EL-FLOW ®Metal Sealed 시리즈에는 디지털 PC 보드가 장착되어있어 높은 정확도, 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC 보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 표준 RS232 출력 외에도 계측기는 아날로그 I / O도 제공합니다. 옵션으로, 온보드 인터페이스를 장착하여 CANopen®, DeviceNet ™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공 할 수 있습니다. EL-FLOW ® Metal Sealed 디자인은 옵션 멀티 가스 / 멀티 레인지 기능을 갖추고있어 (OEM-) 고객에게 최적의 유연성과 프로세스 효율성을 제공합니다.

특징

» 특허받은 metal-to-metal sealed 구조로 장기 누출 방지(대기)
» 내부 표면의 전기 화학적 연마
» 빠른 응답 및 탁월한 반복성
» 0.1…5sccm ~ 1…50slm (N2 기준이며 요청 시, 더 높은 값도 가능)
» 다중 가스 / 다중 범위 기능성
» 옵션 표면 탑재 구성
» RoHS 준수

Control system

Flow range, based on N2 (intermediate ranges available)

min. 0.12…6 ml/min max. 1…50 l/min

Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)

±0.5% Rd plus ±0.1% FS

Repeatability

< 0.2% Rd
Turndown

1 : 50 (in digital mode up to 1 : 150)

Settling time

1 second typical above 5% FS; option: down to 600 msec

Control stability

± 0.05% FS (typical for 1slm N2)

Max. operating pressure

1000 psig (64 bar)

Temperature sensitivity

zero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C

Pressure sensitivity

< 0.1% Rd/bar typical N2; < 01% Rd/bar H2

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy 2 min for accuracy ± 2% FS

 

General performance

Operating temperature

-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat); 0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat); 0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)

Leak integrity (outboard)

< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Leak-by through closed valve

< 10-5 Pa.m3/s He

Attitude sensitivity

may be mounted in any position

 

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Process connections

1/4” face seal male

Seals

Outer seals: metal-to-metal (no rings); Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM); options: Viton®, EPDM

Weight

0.7 kg
Ingress protection (housing)

IP40

*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EL-FLOW Metal Sealed appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]> EL-FLOW https://lpmtech.co.kr/portfolio-items/el-flow-2/ Thu, 26 Dec 2019 08:20:51 +0000 http://lpmtech.co.kr/?post_type=avada_portfolio&p=15526 Laboratory style GAS MFC/MFM EL-FLOW » Range : lowest range 0.014…0.7mL/min                   highest range 8…1670L/min » Accuracy [standard] ±0.5% Rd plus ±0.1%FS » Connections : compression type or face seal couplings » Operating pressure : 64/100/200/400 bar » Settling time [standard] 1…2 [...]

The post EL-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>

Laboratory style GAS MFC/MFM

EL-FLOW

» Range : lowest range 0.014…0.7mL/min
                  highest range 8…1670L/min
» Accuracy [standard] ±0.5% Rd plus ±0.1%FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 64/100/200/400 bar
» Settling time [standard] 1…2 seconds
                           [option] down to 500 msec
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
                                2 min for accuracy ± 2% FS

제품리스트 　
카탈로그 다운로드 　
　견적요청 　
EL-FLOW Select Series MFM/MFC는 ‘실험실 스타일’ PC-보드 하우징을 가진 모듈형 구조의 열 질량 유량계입니다. 제어밸브는 일체형 또는 별도로 설치되며, 가스의 측정 및 유량을 제어할 수 있습니다. 질량 유량 컨트롤러 제어 밸브의 설계 개념은 다른 질량 유량계 제조업체의 것과는 달리, 모듈의 구조로 사용자가 재조정 하지 않고 현장에서 즉시 교환할 수 있습니다. 표준 밸브는 Normally close type이며 1.5Kv 값까지 사용 가능하며, 옵션으로 Normally open type을 선택할 수 있습니다. 고압(차압)의 적용시에는, EL-FLOW® program 특허 구조의 독특한 조절 밸브를 제공합니다. 이는 1차 압력을 400 Bar(g)(차압) 까지 (유량 및 압력) 제어 할 수 있으며, MFM & MFC의 시장에서의 독보적인 기술입니다. DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 또는 FLOW-BUS protocol에 대응 할 수 있습니다. (MBC3 pcb 필수)

Optional Multi Gas / Multi Range

EL-FLOW Select series 모든 모델은 옵션으로 Multi Gas / Multi Range (MG/MR) 기능을 제공합니다. 이 옵션은 유량의 범위와 가스 맞추어 더 큰 유연성을 제공하며, 측정 및 제어를 위하여 높은 정밀도와 턴다운 범위를 유지합니다. 이 기기의 사용자는 설치 및 해체시간 및 비용의 절약을 기대 할 수 있습니다. 또한 사용자의 편리를 위해 Bronkhorst® 는 조작이 간단한 “FlowTune” 소프트웨어를 개발하였습니다. 이 소프트웨어에서 Select 계기의 가스의 변경 및 유량 변경(Multi Fluid / Multi Range)이 가능합니다. (주문 시, 말씀해주십시오)

특징

» 높은 정확도 (표준 0.5% Rd +0.1% F.S.)
» 디지털모드에서의 최대유량범위 1:187.5
» 빠른 응답성 (down to 500 msec), 우수한 반복 정밀도
» 선택가능한 Multi-Gas / Multi-Range functionality: 자유롭게 프로그램 가능한 가스와 유량
» 압력범위 64 / 100 bar (Multi-Gas / Multi-Range functionality up to 10 bar) » High pressure versions 제공
» 아날로그 입, 출력및, RS232-통신기능 제공; 필드버스 인터페이스 (옵션)제공
» 전기 및 화학적 표면처리
» 컴팩트, 모듈형 구조
» 메탈실 버전 및 다운 포트 버전

EL-FLOW MFC 시리즈

PN 64bar

PN 100barPN 200barPN 400bar
F-200CV | 0.7 … 9mL/minF-210CV | 0.7 … 9 mL/minF-220M | 10 … 15 mL/min

F-230M | 10 … 500mL/min

F-201CV | 0.008 … 25L/min

F-211CV | 0.008 … 25L/minF-221M | 0.015 … 20L/minF-231M | 0.5 … 10L/min
F-201AV | 20 … 100L/minF-211AV | 20 … 100L/minF-221M | 0.015 … 20L/min

F-231M | 0,5 … 10L/min

F-202AV | 40 … 250L/min

F-212AV | 40 … 250L/minF-232M | 10 … 100L/min
F-203AV | 200 … 1670L/minF-213AV | 200 … 1670L/min

적용분야

» 분석 및 환경 설비
» 식품, 화학 ,발전 시설, 석유화학 산업에서의 가스 유량 모니터링 및 유량 제어
» 가스 공급시설의 가스 소비량 측정 및 누적 사용
» 가스 누출 탐지
» 반도체 제조
» 표면 처리 설비

Measurement / Control system

Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)

standard: ±0,5% Rd plus ±0,1% F.S. (±1% FS for ranges 3…5 mln/min; ±2% FS for ranges < 3 mln/min)

Turndown

1 : 50 (in digital mode up to 1:187,5)
Repeatability

< 0,2% Rd

Settling time (controller)

standard: 1…2 seconds option: down to 500msec
Control stability

< ±0,1% FS (typical for 1 ln/min N2)

Operating temperature

-10…+70°C
Temperature sensitivity

zero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C

Pressure sensitivity

0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Leak integrity, outboard

tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

Attitude sensitivity

max. error at 90° off horizontal 0.2% at 1 bar, typical N2

Warm-up time

30 min. for optimum accuracy 2 min. for accuracy ± 2% FS

Mechanical parts

Material (wetted parts)

stainless steel 316L or comparable
Process connections

compression type or face seal couplings

Seals

standard: Viton®; options: EPDM, Kalrez® (FFKM)

Ingress protection (housing)

IP40

Electrical properties

Power supply

+15…24 Vdc

Max. power consumption (controllers based on normally closed valve, pin 5 not used) :

Supplyat voltage I/Oat current I/O

meter

15 V

95 mA

125 mA

24 V65 mA

85 mA

controller

15 V

290 mA320 mA
24 V200 mA

215 mA

add 50 mA for Profibus, if applicable

Analog output/command

: 0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

: standard: RS232 options: PROFIBUS DP, DeviceNetTM EtherCAT®, Modbus, FLOW-BUS

Electrical connection

Analog/RS232

9-pin D-connector (male);
PROFIBUS DP

bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin D-connector (male)

DeviceNetTM

5-pin M12-connector (male);
EtherCAT®

2 x RJ45 modular jack (in/out)

Modbus-RTU/FLOW-BUS

RJ45 modular jack

*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

The post EL-FLOW appeared first on (주)엘피엠테크-LPMTECH.

]]>