Vapour Delivery System-Bronkhorst Archives - (주)엘피엠테크-LPMTECH

SW-200

lpm — Thu, 14 May 2020 02:44:33 +0000

Vapour Delivery Module Evaporator

SW-200

» Max. Capacity approx [Gas] 10l/min

[Liquid] 120g/h

» Ambient temperature : 5…40°C
» Max. heating temperature : 200°C
» Heater capacity : 100 W
» Pressure rating : 10 bar(g)
» Purge outlet : 1/8″ OD compression type or 1/8″ face seal male
» Material : stainless steel 316L or comparable
» Connections [Gas & liquid inlet] compression type or face seal couplings;

[Vapour outlet] 1/4″ tube (other options on request)

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제품특징

Bronkhorst의 VDM은 일체형 증기 공급 모듈입니다. VDM은 가스 및 액체 유량 컨트롤러 및 온도 제어 증발기 외에도 디스플레이 및 제어기능이 있는 통합 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다.
대기 또는 진공 공정에 적용할 수 있으며, 용매에 용해 된 혼합물 및 고체도 증발시킬 수 있습니다.

특징

» 빠른 응답성
» 높은 재생산력
» 기존 시스템보다 낮은 작동 온도
» 엔지니어링 또는 제조 불필요
» 로컬 또는 원격 제어 (RS232 / FLOW-BUS)
» Readout/Control 판넬, 1.8″ TFT 디스플레이, 알람 / 신호 카운터 기능

제품사양

Performance Specifications

Ambient temperature	5…40°C
Max. heating temperature	200°C
Heater capacity	100 W

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	10 bar(g)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/4″ tube (other options on request)
Purge outlet	1/8″ OD compression type or 1/8″ face seal male
Seals	Viton®/Kalrez®; other on request
Plungers	Kalrez®
Display	1.8″ (TFT technology)
Mains supply inlet	IEC 60320-1/C20 male socket with on/off switch, 230 V / 115 V; 50 Hz / 60 Hz
Power consumption	max. 250 VA; add 300 VA for optional tracing control
Electrical connection	FLOW-BUS (2 x RJ45 connector) or RS232 (1 x 9-pin sub-D connector); Optional: Pt100-connection (1 x 4-pin M12 male, a-coded); Optional: IEC 60320-2-2/C13 female tracing outlet

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

첨부파일

카달로그 – Bronkhorst VDM_Catalogue (EN)

적용사례

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SW-100

lpm — Thu, 14 May 2020 02:39:39 +0000

Vapour Delivery Module Evaporator

SW-100

» Max. Capacity approx [Gas] 4l/min

[Liquid] 30g/h

[Vapour outlet] 1/4″ tube (other options on request)

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제품특징

특징

제품사양

Performance Specifications

Ambient temperature	5…40°C
Max. heating temperature	200°C
Heater capacity	10 W

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	10 bar(g)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/4″ tube (other options on request)
Purge outlet	1/8″ OD compression type or 1/8″ face seal male
Seals	Viton®/Kalrez®; other on request
Plungers	Kalrez®
Display	1.8″ (TFT technology)
Mains supply inlet	IEC 60320-1/C20 male socket with on/off switch, 230 V / 115 V; 50 Hz / 60 Hz
Power consumption	max. 250 VA; add 300 VA for optional tracing control
Electrical connection	FLOW-BUS (2 x RJ45 connector) or RS232 (1 x 9-pin sub-D connector); Optional: Pt100-connection (1 x 4-pin M12 male, a-coded); Optional: IEC 60320-2-2/C13 female tracing outlet

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

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카달로그 – Bronkhorst VDM_Catalogue (EN)

적용사례

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W-303B

lpm — Wed, 13 May 2020 06:23:42 +0000

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-303B

» Max. Capacity approx [Gas] 100l/min

[Liquid] 1200g/h

» Max. heating temperature : 200°C
» Pressure rating : 100 bar
» Max. ΔP : 5…40 bar
» Heater capacity : 1000W
» Material : Stainless steel 316L or comparable
» Connections [Gas & liquid inlet] compression type or face seal couplings;

[Vapour outlet] 1/4″ tube

[Purge connection] 1/8″ OD or 1/8″ face seal

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제품특징

Bronkhorst의 CEM(Controlled Evaporation Mixing) 시스템은 대기 또는 진공공정에 적용할 수 있는 혁신적인 액체 전달 시스템(LDS) 입니다.

증기 발생 시스템은 (열 또는 코리올리) 액체용 LFC, 캐리어 가스용 MFC 및 온도제어 혼합 및 기화장치로 구성됩니다. 이 기화기 시스템은 버블러를 대체할 수 있습니다.

또한 CEM 시스템은 혼합물을 증발시킬 수 있고, 용매에 용해된 고체도 성공적으로 증발시킬 수 있습니다.

특징

» 빠른 응답성

» 높은 재생산력

» 매우 안정적인 증기 유량

» 가스/액체 비율의 유연한 선택

» 가스/액체 혼합물의 정확한 제어

» 기존 시스템 대비 낮은 운전 온도

» PC/PLC (RS232/Fieldbus)를 통한 제어기능 (옵션)

동영상

제품사양

Performance Specifications

Max. Kv-value	6.6 x 10^-2
Max. heating temperature	200°C

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	100 bar(a)
Max. ΔP	5…40 bar (depends on Kv-value; contact your distributor for details)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/4″ tube (other options on request); Purge connection: 1/8″ OD or 1/8″ face seal
Seals	Metal-to-metal
Plunger	Kalrez^®; other on request
Protection class	IP40
Power supply	Mixing valve: ±15…24 Vdc; Heater: 110-120 Vac or 220-240 Vac
Power consumption	Mixing valve: 4 W (max.); Heater: 1375 W (nominal)
Heater capacity	1000 W
Connector 1 (Temperature & Safety)	Amphenol 6-pin male
Connector 2 (Heater)	Amphenol 5-pin male

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

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카달로그 – Bronkhorst CEM_Catalogue (EN)

적용사례

온도 및 압력에 따라 가변적인 기화율의 유체가 안정적으로 기화, 공급될 수 있도록 CEM 후단에서 외부 출구까지 실시간 온도 컨트롤을 적용하였으며,

기화된 유체의 재 액화 및 고형화를 방지하기 위하여 배관 사이즈까지 설계한 고객 맞춤형 장비입니다.

전체 파트의 아날로그 시그널 기반 프로그래밍 된 터치판넬을 사용하며,

테스트 룸 외부에서 동시 조작 가능한 리모트 박스를 추가 구성하였습니다.

Flow Information

Liquid	TEOS
Gas	N2

Main Parts Information

No.	Main Parts	Model	Manufacturer
1	Evaporator	CEM-W303A	Bronkhorst
2	Liquid Cori Mass Flow Meter	NA-M13	Bronkhorst
3	Gas Mass Flow Controller	F-201CL	Bronkhorst
4	Power Supply Readout-unit	E8307A	Bronkhorst
5	Line Gas Mass Flow Controller	F-202BB	Bronkhorst

※ 본 장비는 고객사의 요청에 따른 맞춤 제작품입니다.

제작 문의는 왼쪽에 기재되어 있는 메일 주소나 유선으로 연락 바랍니다.

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W-202A

lpm — Wed, 13 May 2020 05:54:31 +0000

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-202A

» Max. Capacity approx [Gas] 10l/min

[Liquid] 120g/h

» Max. heating temperature : 200°C

» Pressure rating : 100 bar

» Max. ΔP : 5…40 bar

» Heater capacity : 100W

» Material : Stainless steel 316L or comparable

» Connections [Gas & liquid inlet] compression type or face seal couplings;

[Vapour outlet] 1/8″ tube

[Purge connection] 1/8″ OD or 1/8″ face seal

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제품특징

Bronkhorst의 CEM(Controlled Evaporation Mixing) 시스템은 대기 또는 진공공정에 적용할 수 있는 혁신적인 액체 전달 시스템(LDS) 입니다.

또한 CEM 시스템은 혼합물을 증발시킬 수 있고, 용매에 용해된 고체도 성공적으로 증발시킬 수 있습니다.

특징

» 빠른 응답성

» 높은 재생산력

» 매우 안정적인 증기 유량

» 가스/액체 비율의 유연한 선택

» 가스/액체 혼합물의 정확한 제어

» 기존 시스템 대비 낮은 운전 온도

» PC/PLC (RS232/Fieldbus)를 통한 제어기능 (옵션)

동영상

제품사양

Performance Specifications

Max. Kv-value	6.6 x 10^-2
Max. heating temperature	200°C

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	100 bar(a)
Max. ΔP	5…40 bar (depends on Kv-value; contact your distributor for details)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/8″ tube (other options on request); Purge connection: 1/8″ OD or 1/8″ face seal
Seals	Metal-to-metal
Plunger	Kalrez^®; other on request
Protection class	IP40
Power supply	Mixing valve: +15…24 Vdc +/-10% Heater: 44 Vac
Power consumption	Mixing valve: 4 W (max.); Heater: 150 W (nominal)
Heater capacity	100 W
Connector	Amphenol 6-pin male

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

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카달로그 – Bronkhorst CEM_Catalogue (EN)

적용사례

온도 및 압력에 따라 가변적인 기화율의 유체가 안정적으로 기화, 공급될 수 있도록 CEM 후단에서 외부 출구까지 실시간 온도 컨트롤을 적용하였으며,

기화된 유체의 재 액화 및 고형화를 방지하기 위하여 배관 사이즈까지 설계한 고객 맞춤형 장비입니다.

전체 파트의 아날로그 시그널 기반 프로그래밍 된 터치판넬을 사용하며,

테스트 룸 외부에서 동시 조작 가능한 리모트 박스를 추가 구성하였습니다.

Flow Information

Liquid	TEOS
Gas	N2

Main Parts Information

No.	Main Parts	Model	Manufacturer
1	Evaporator	CEM-W303A	Bronkhorst
2	Liquid Cori Mass Flow Meter	NA-M13	Bronkhorst
3	Gas Mass Flow Controller	F-201CL	Bronkhorst
4	Power Supply Readout-unit	E8307A	Bronkhorst
5	Line Gas Mass Flow Controller	F-202BB	Bronkhorst

※ 본 장비는 고객사의 요청에 따른 맞춤 제작품입니다.

제작 문의는 왼쪽에 기재되어 있는 메일 주소나 유선으로 연락 바랍니다.

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W-102A

lpm — Wed, 13 May 2020 05:49:56 +0000

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-102A

» Max. Capacity approx [Gas] 4l/min

[Liquid] 30g/h

» Max. heating temperature : 200°C

» Pressure rating : 100 bar

» Max. ΔP : 5…40 bar

» Heater capacity : 10W

» Material : Stainless steel 316L or comparable

» Connections [Gas & liquid inlet] compression type or face seal couplings;

[Vapour outlet] 1/8″ tube

[Purge connection] 1/8″ OD or 1/8″ face seal

제품리스트 　

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　견적요청 　

제품특징

Bronkhorst의 CEM(Controlled Evaporation Mixing) 시스템은 대기 또는 진공공정에 적용할 수 있는 혁신적인 액체 전달 시스템(LDS) 입니다.

또한 CEM 시스템은 혼합물을 증발시킬 수 있고, 용매에 용해된 고체도 성공적으로 증발시킬 수 있습니다.

특징

» 빠른 응답성

» 높은 재생산력

» 매우 안정적인 증기 유량

» 가스/액체 비율의 유연한 선택

» 가스/액체 혼합물의 정확한 제어

» 기존 시스템 대비 낮은 운전 온도

» PC/PLC (RS232/Fieldbus)를 통한 제어기능 (옵션)

동영상

제품사양

Performance Specifications

Max. Kv-value	6.6 x 10^-2
Max. heating temperature	200°C

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	100 bar(a)
Max. ΔP	5…40 bar (depends on Kv-value; contact your distributor for details)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/8″ tube (other options on request); Purge connection: 1/8″ OD or 1/8″ face seal
Seals	Metal-to-metal
Plunger	Kalrez^®; other on request
Protection class	IP40
Power supply	Mixing valve: +15…24 Vdc +/-10% Heater: 44 Vac
Power consumption	Mixing valve: 4 W (max.); Heater: 150 W (nominal)
Heater capacity	10 W
Connector	Amphenol 6-pin male

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

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카달로그 – Bronkhorst CEM_Catalogue (EN)

적용사례

온도 및 압력에 따라 가변적인 기화율의 유체가 안정적으로 기화, 공급될 수 있도록 CEM 후단에서 외부 출구까지 실시간 온도 컨트롤을 적용하였으며,

기화된 유체의 재 액화 및 고형화를 방지하기 위하여 배관 사이즈까지 설계한 고객 맞춤형 장비입니다.

전체 파트의 아날로그 시그널 기반 프로그래밍 된 터치판넬을 사용하며,

테스트 룸 외부에서 동시 조작 가능한 리모트 박스를 추가 구성하였습니다.

Flow Information

Liquid	TEOS
Gas	N2

Main Parts Information

No.	Main Parts	Model	Manufacturer
1	Evaporator	CEM-W303A	Bronkhorst
2	Liquid Cori Mass Flow Meter	NA-M13	Bronkhorst
3	Gas Mass Flow Controller	F-201CL	Bronkhorst
4	Power Supply Readout-unit	E8307A	Bronkhorst
5	Line Gas Mass Flow Controller	F-202BB	Bronkhorst

※ 본 장비는 고객사의 요청에 따른 맞춤 제작품입니다.

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W-101A

lpm — Wed, 13 May 2020 05:43:08 +0000

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-101A

» Max. Capacity approx. [Gas] 4l/min

[Liquid] 2g/h

» Max. heating temperature : 200°C

» Pressure rating : 100 bar

» Max. ΔP : 5…40 bar

» Heater capacity : 10W

» Material : Stainless steel 316L or comparable

» Connections [Gas & liquid inlet] compression type or face seal couplings;

[Vapour outlet] 1/8″ tube

[Purge connection] 1/8″ OD or 1/8″ face seal

제품리스트 　

카탈로그 다운로드 　

　견적요청 　

제품특징

Bronkhorst의 CEM(Controlled Evaporation Mixing) 시스템은 대기 또는 진공공정에 적용할 수 있는 혁신적인 액체 전달 시스템(LDS) 입니다.
증기 발생 시스템은 (열 또는 코리올리) 액체용 LFC, 캐리어 가스용 MFC 및 온도제어 혼합 및 기화장치로 구성됩니다. 이 기화기 시스템은 버블러를 대체할 수 있습니다.
또한 CEM 시스템은 혼합물을 증발시킬 수 있고, 용매에 용해된 고체도 성공적으로 증발시킬 수 있습니다.

특징

» 빠른 응답성

» 높은 재생산력

» 매우 안정적인 증기 유량

» 가스/액체 비율의 유연한 선택

» 가스/액체 혼합물의 정확한 제어

» 기존 시스템 대비 낮은 운전 온도

» PC/PLC (RS232/Fieldbus)를 통한 제어기능 (옵션)

동영상

제품사양

Performance Specifications

Max. Kv-value	6.6 x 10^-2
Max. heating temperature	200°C

Mechanical / Electrical Specifications

Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating	100 bar(a)
Max. ΔP	5…40 bar (depends on Kv-value; contact your distributor for details)
Process connections	Gas and liquid inlet: compression type or face seal couplings; Vapour outlet: 1/8″ tube (other options on request); Purge connection: 1/8″ OD or 1/8″ face seal
Seals	Metal-to-metal
Plunger	Kalrez^®; other on request
Protection class	IP40
Power supply	Mixing valve: +15…24 Vdc +/-10% Heater: 44 Vac
Power consumption	Mixing valve: 4 W (max.); Heater: 150 W (nominal)
Heater capacity	10 W
Connector	Amphenol 6-pin male

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

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카달로그 – Bronkhorst CEM_Catalogue (EN)

적용사례

온도 및 압력에 따라 가변적인 기화율의 유체가 안정적으로 기화, 공급될 수 있도록 CEM 후단에서 외부 출구까지 실시간 온도 컨트롤을 적용하였으며,

기화된 유체의 재 액화 및 고형화를 방지하기 위하여 배관 사이즈까지 설계한 고객 맞춤형 장비입니다.

전체 파트의 아날로그 시그널 기반 프로그래밍 된 터치판넬을 사용하며,

테스트 룸 외부에서 동시 조작 가능한 리모트 박스를 추가 구성하였습니다.

Flow Information

Liquid	TEOS
Gas	N2

Main Parts Information

No.	Main Parts	Model	Manufacturer
1	Evaporator	CEM-W303A	Bronkhorst
2	Liquid Cori Mass Flow Meter	NA-M13	Bronkhorst
3	Gas Mass Flow Controller	F-201CL	Bronkhorst
4	Power Supply Readout-unit	E8307A	Bronkhorst
5	Line Gas Mass Flow Controller	F-202BB	Bronkhorst

※ 본 장비는 고객사의 요청에 따른 맞춤 제작품입니다.

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SW-200

Vapour Delivery Module Evaporator

SW-200

제품특징

제품사양

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적용사례

제품특징

특징

제품사양

Performance Specifications

Mechanical / Electrical Specifications

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적용사례

SW-100

Vapour Delivery Module Evaporator

SW-100

제품특징

제품사양

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적용사례

제품특징

특징

제품사양

Performance Specifications

Mechanical / Electrical Specifications

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적용사례

W-303B

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-303B

제품특징

제품사양

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적용사례

제품특징

특징

동영상

제품사양

Performance Specifications

Mechanical / Electrical Specifications

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적용사례

W-202A

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-202A

제품특징

제품사양

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특징

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Performance Specifications

Mechanical / Electrical Specifications

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적용사례

W-102A

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-102A

제품특징

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적용사례

제품특징

특징

동영상

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Performance Specifications

Mechanical / Electrical Specifications

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적용사례

W-101A

3-Way Mixing Valve and Evaporator

W-101A

제품특징

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