EL-FLOW Metal Sealed
F-201CM
» Range : lowest range 0.12…6mL/min
highest range 1…50L/min
» Accuracy : ± 0.5% Rd plus ± 0.1% FS
» Connections : 1/4” face seal male
» Operating pressure : max. 1000 psig
» Settling time : 1 second typical above 5% FS;
option: down to 600 msec
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
2 min for accuracy ± 2% FS
F-201CM MFC는 반도체 시장 및 기타 고순도 가스 응용 분야의 요구사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기기는 표면 품질이 우수하며 금속 누출 방지를 보장하는 금속 간 밀봉으로 모듈식 구조로되어 있습니다. F-201CM은 진공 1000 psig (64 bar)의 작동 압력에서 0.12 ~ 6 sccm ~ 1 ~ 50 slm (N 2 기준 ) 사이의 유량 범위를 정확하게 측정하고 제어하는 데 적합합니다 . EL-FLOW ®Metal Sealed 시리즈에는 디지털 PC 보드가 장착되어있어 높은 정확도, 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC 보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 표준 RS232 출력 외에도 계측기는 아날로그 I / O도 제공합니다. 옵션으로, 온보드 인터페이스를 장착하여 CANopen®, DeviceNet ™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공 할 수 있습니다. EL-FLOW ® Metal Sealed 디자인은 옵션 멀티 가스 / 멀티 레인지 기능을 갖추고있어 (OEM-) 고객에게 최적의 유연성과 프로세스 효율성을 제공합니다.
특징
» 특허받은 metal-to-metal sealed 구조로 장기 누출 방지(대기)
» 내부 표면의 전기 화학적 연마
» 빠른 응답 및 탁월한 반복성
» 0.1…5sccm ~ 1…50slm (N2 기준이며 요청 시, 더 높은 값도 가능)
» 다중 가스 / 다중 범위 기능성
» 옵션 표면 탑재 구성
» RoHS 준수
Control system
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Flow range, based on N2 (intermediate ranges available) |
min. 0.12…6 ml/min max. 1…50 l/min |
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Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration) |
±0.5% Rd plus ±0.1% FS |
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Repeatability |
< 0.2% Rd |
| Turndown |
1 : 50 (in digital mode up to 1 : 150) |
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Settling time |
1 second typical above 5% FS; option: down to 600 msec |
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Control stability |
± 0.05% FS (typical for 1slm N2) |
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Max. operating pressure |
1000 psig (64 bar) |
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Temperature sensitivity |
zero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C |
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Pressure sensitivity |
< 0.1% Rd/bar typical N2; < 01% Rd/bar H2 |
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Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy 2 min for accuracy ± 2% FS |
General performance
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Operating temperature |
-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat); 0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat); 0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat) |
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Leak integrity (outboard) |
< 2 x 10-11 Pa.m3/s He |
| Leak-by through closed valve |
< 10-5 Pa.m3/s He |
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Attitude sensitivity |
may be mounted in any position |
Mechanical parts
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Material (wetted parts) |
stainless steel 316L or comparable |
| Process connections |
1/4” face seal male |
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Seals |
Outer seals: metal-to-metal (no rings); Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM); options: Viton®, EPDM |
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Weight |
0.7 kg |
| Ingress protection (housing) |
IP40 |
*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.