MFC,MFM

High Performance MFM

 

» Range : lowest range 0.014…0.7ml/min

                  up to highest range 2…100l/min

» Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS

» Connections : compression type or face seal couplings

» Operating pressure : 100 bar

» Output signal : Analog, RS232

» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

MFM

For High Purity Gas Supply with Fast Response

 

» Range : lowest range 0.12…6mL/min

                  highest range 1…50L/min

» Accuracy : ± 0.5% Rd plus ± 0.1% FS

» Connections : 1/4” face seal male

» Operating pressure : max. 1500 psig

» Output signal : Analog, RS232

» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

                                2 min for accuracy ± 2% FS

Laboratory style GAS MFM

» Range : lowest range 0.014…0.7mL/min

                  highest range 8…1670L/min

» Accuracy : standard : ±0.5% Rd plus ±0.1%FS

» Connections : compression type or face seal couplings

» Operating pressure : 100 bar

» Output signal : Analog, RS232

» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy

                                2 min for accuracy ± 2% FS

MFC,MFM

Precision MFM for Gases

 

» Range : lowest range 0.2…5kg/h

                  up to highest range 6…600kg/h

» Accuracy : 0.2% of rate

» Connections : 1/4″, 6mm OD compression type

» Operating pressure : max. 200 bar

» Output signal : Analog, RS232

» Warm-up time : > 30 min. for optimum accuracy

MFC,MFM

Ultra Low Flow Coriolis MFM

 

» Range : lowest range 0.05…5g/h

                  up to highest range 3…300kg/h

» Accuracy : ±0.5% of rate

» Connections : compression type (welded) or face seal couplings

» Operating pressure : max. 200 bar

» Output signal : Analog, RS232

» Warm-up time : > 30 min. for optimum accuracy

 

EX-Proof Mass Flow Meter for Gases

 

» Range : lowest range 0.16…8ml/min

                  up to highest range 220…11,000m3/h

» Accuracy : ±1% of rate

» Connections : compression type or face seal couplings

                             wafer type on series F-106

                             DIN or ANSI flanges on series F-107

» Operating pressure : max. 400 bar

» Output signal : 15…20mA

» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy;

                               2 min for accuracy ±2% FS

 

Ultra Compact Mass Flow Meter

 

» Range : lowest range 0.2…10ml/min

                  up to highest range 0.1…5l/min

» Accuracy : <±1.5%RD ±0.5%FS

» Connections [Optional] 10-32 UNF threaded internal nut

                                             with 1/16″ ferrule (SS316 or Peek);

                                             1/16″ or 1/8″ OD compression type

» Operating pressure : 0…10barg

» Output signal : 0…5(10)Vdc or 0(4)…20mA

Mass Flow Regulator for gases

» Fluids : Air, N2, O2, H2, He, Ar, and CO2
» Flow range :
1L, 2L, 3L, 5L, 10L, 15L, 20L/min
» Accuracy : F.S. ±5% (Measurement point)
» Proof pressure : 0.8 MPa for 5 L/MIN or less
                               0.5 MPa for 10 L/MIN or more
» Available scale : 10:1
» Connection [Standard] Rc 1/8

                         [Option] Rc1/4