High Performance Mass Flow Meter
EL-FLOW Prestige
» Range : lowest range 0.014…0.7ml/min
up to highest range 2…100l/min
» Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 100 bar
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
EL-FLOW® Prestige, 고객들의 요청에 의해 탄생한 차세대 MFM은다양한 기능과 사용자측의 편의성에 초점을 맞춘 질량 유량계중 최고의 정점에 도달한 혁신적인 제품입니다. EL-FLOW Prestige는 멀티가스 / 멀티 유량범위 (MG/MR) 기능을 지원하여 100개의 가스를 선택하여 측정, 제어할 수 있습니다.
Select the I/O options of your preference
다양한 입/출력 옵션은 D-SUB 9-pin 을 통하여 이루어집니다. 다양한 아날로그 신호 및 스탠다드 RS-232통신, RS-485통신, 디지탈 주파수, 펄스출력, 알람출력, 리셋, 밸브퍼지, 밸브닫기, 아날로그 밸브 시그널 등 출력 가능합니다. 또한, Bronkhorst는 다양한 통합 필드버스 옵션을 다음과같이 제공합니다 : CANopen®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT® and FLOW-BUS. 특히 FLOW-BUS는 Bronkhorst® 에 의해 개발된 RS-485기반의 필드버스입니다. FLOW-BUS™ 인터페이스는 LabVIEW™ (graphical software by National Instruments) 작업고객의 편의를 위해 Bronkhorst는 인증된 plug & play 인스트루먼트 드라이버를 제공합니다.
특징
» 높은 정확도 (표준 0.5% Rd +0.1 FS)
» 최대 1:150의 디지털 모드 범위
» 다중 가스 / 다중 범위 기능
» 압력 등급 10/64/100bar
» 금속 하우징
EL-FLOW Prestige MFM 시리즈
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Model |
Flow range (N2) | Pressure rating |
| FG-110C | 0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
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FG-110CP |
0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min | 100 bar(g)/1500 psi(g) |
| FG-111B | 0.014…7ml/min up to 0.4…20l/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
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FG-111BP |
0.014…7ml/min up to 0.4…20l/min | 100 bar(g)/1500 psi(g) |
| FG-111AC | 0.2…10l/min up to 2…100l/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
적용분야
» 분석/환경 장비
» 식품, 화학 및 석유 화학 산업의 가스 흐름 모니터링
» 가스 분배 시스템의 가스 소비 측정
» 가스 누출 감지
» 반도체 제조
» 표면 처리 설비
동영상
Measurement/Control system
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Accuracy (incl. linearity) |
standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS |
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Repeatability |
0-20% < ± 0.04% FS; |
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Turndown |
1:150; in analog mode 1:50 |
| Multi Gas/Multi Range gases |
embedded gas data for 100 unique gases |
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Settling time |
fast: < 500 msec |
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Operating temperature |
-10…70°C |
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Temperature sensitivity |
zero: < 0.02% FS/°C; span: < 0.025% Rd/°C |
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Pressure sensitivity |
standard: < 0.15% Rd/bar typical N2; |
| Accuracy of integrated pressure sensor (PI option) |
± 0.25% FS at ambient temperature |
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Leak integrity, outboard |
tested < 2 x 10-9 mbar l/s He |
| Attitude sensitivity |
max. error at 90º off horizontal 0,07% FS |
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Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy |
Mechanical parts
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Material (wetted parts) |
stainless steel 316L or comparable, |
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Process connections |
compression type or face seal couplings |
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Seals |
standard: Viton® |
Electrical properties
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Power supply |
+15…24 Vdc | ||
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Max. power consumption (controllers based on normally closed valve, pin 5 not used) : |
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Supply |
at voltage I/O | at current I/O | |
| Controller | 15V | 202mA |
225mA |
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24V |
128mA |
146mA |
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If applicable: PROFIBUS DP |
add 53 mA (15 V supply) or 30 mA (24 V supply) |
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PROFINET |
add 76 mA (15 V supply) or 48 mA (24 V supply) | ||
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EtherCAT® |
add 66 mA (15 V supply) or 41 mA (24 V supply) |
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DeviceNet™ |
add 48 mA (24 V supply) |
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Analog output/command |
0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output) |
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Digital communication |
standard: RS232; |
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Electrical connections
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Analog/RS232 |
9-pin D-connector (male) |
| PROFIBUS DP |
bus: 9-pin D-connector (female) |
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DeviceNet™ |
5-pin M12-connector (male) |
| EtherCAT®/PROFINET |
2 x RJ45 modular jack (in/out) |
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Modbus/FLOW-BUS |
RJ45 modular jack |
| CE |
EMC 2014/30/EU, RoHS 2011/65/EU |
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IEC 61010-1 |
2010 |
| Ingress protection (housing) |
IP40 |
*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.