Laboratory style GAS MFC/MFM
EL-FLOW
» Range : lowest range 0.014…0.7mL/min
highest range 8…1670L/min
» Accuracy : standard : ±0.5% Rd plus ±0.1%FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 100 bar
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
2 min for accuracy ± 2% FS
고압(차압)의 적용시에는, EL-FLOW® program 특허 구조의 독특한 조절 밸브를 제공합니다. 이는 1차 압력을 400 Bar(g)(차압) 까지 (유량 및 압력) 제어 할 수 있으며, MFM & MFC의 시장에서의 독보적인 기술입니다. DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 또는 FLOW-BUS protocol에 대응 할 수 있습니다. (MBC3 pcb 필수)
Optional Multi Gas / Multi Range
EL-FLOW Select series 모든 모델은 옵션으로 Multi Gas / Multi Range (MG/MR) 기능을 제공합니다. 이 옵션은 유량의 범위와 가스 맞추어 더 큰 유연성을 제공하며, 측정 및 제어를 위하여 높은 정밀도와 턴다운 범위를 유지합니다. 이 기기의 사용자는 설치 및 해체시간 및 비용의 절약을 기대 할 수 있습니다. 또한 사용자의 편리를 위해 Bronkhorst® 는 조작이 간단한 “FlowTune” 소프트웨어를 개발하였습니다. 이 소프트웨어에서 Select 계기의 가스의 변경 및 유량 변경(Multi Fluid / Multi Range)이 가능합니다. (주문 시, 말씀해주십시오)
특징
» 높은 정확도 (표준 0.5% Rd +0.1% F.S.)
» 디지털모드에서의 최대유량범위 1:187.5
» 빠른 응답성 (down to 500 msec), 우수한 반복 정밀도
» 선택가능한 Multi-Gas / Multi-Range functionality: 자유롭게 프로그램 가능한 가스와 유량
» 압력범위 64 / 100 bar (Multi-Gas / Multi-Range functionality up to 10 bar)
» High pressure versions 제공
» 아날로그 입, 출력및, RS232-통신기능 제공; 필드버스 인터페이스 (옵션)제공
» 전기 및 화학적 표면처리
» 컴팩트, 모듈형 구조
» 메탈실 버전 및 다운 포트 버전
EL-FLOW MFM 시리즈
PN 100bar |
PN 200bar | PN 400bar |
F-110C | 0.7 … 9mL/min | F-120M | 10 … 15mL/min |
F-130M | 10 … 15mL/min |
F-111B | 0.008 … 25L/min |
F-121M | 0.015 … 20L/min | F-131M | 0.015 … 20L/min |
F-111AC | 20 … 100L/min | F-121M | 0.015 … 20L/min |
F-131M | 0.015 … 20L/min |
F-112AC | 40 … 250L/min |
F-122M | 15 … 250L/min | F-132M | 15 … 250L/min |
F-113AC | 200 … 1670L/min | F-123M | 200 … 1250L/min |
F-133M | 200 … 1250L/min |
적용분야
» 분석 및 환경 설비
» 식품, 화학 ,발전 시설, 석유화학 산업에서의 가스 유량 모니터링 및 유량 제어
» 가스 공급시설의 가스 소비량 측정 및 누적 사용
» 가스 누출 탐지
» 반도체 제조
» 표면 처리 설비
Measurement / Control system
Accuracy (incl. linearity) |
standard: ±0,5% Rd plus ±0,1% F.S. |
Turndown |
1 : 50 (in digital mode up to 1:187,5) |
Repeatability |
< 0,2% Rd |
Settling time (controller) |
standard: 1…2 seconds option: down to 500msec |
Control stability |
< ±0,1% FS (typical for 1 ln/min N2) |
Operating temperature |
-10…+70°C |
Temperature sensitivity |
zero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C |
Pressure sensitivity |
0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2 |
Leak integrity, outboard |
tested < 2 x 10-9 mbar l/s He |
Attitude sensitivity |
max. error at 90° off horizontal 0.2% |
Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy |
Mechanical parts
Material (wetted parts) |
stainless steel 316L or comparable |
Process connections |
compression type or face seal couplings |
Seals |
standard: Viton®; |
Ingress protection (housing) |
IP40 |
Electrical properties
Power supply |
+15…24 Vdc | ||
Max. power consumption (controllers based on normally closed valve, pin 5 not used) : |
|||
|
Supply | at voltage I/O | at current I/O |
meter |
15 V |
95 mA |
125 mA |
24 V | 65 mA |
85 mA |
|
controller |
15 V |
290 mA | 320 mA |
24 V | 200 mA |
215 mA |
|
|
add 50 mA for Profibus, if applicable |
||
Analog output/command |
: 0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA |
||
Digital communication |
: standard: RS232 |
Electrical connection
Analog/RS232 |
9-pin D-connector (male); |
PROFIBUS DP |
bus: 9-pin D-connector (female); |
DeviceNetTM |
5-pin M12-connector (male); |
EtherCAT® |
2 x RJ45 modular jack (in/out) |
Modbus-RTU/FLOW-BUS |
RJ45 modular jack |
*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.