반도체용 레귤레이터
R26
» Pressure [Inlet] 2MPa or less
[Outlet] Max. 0.99MPa
» Supply pressure effect : 0.0019MPaG per 0.1 MPag
» Proof pressure : 22.2MPa
» Cv : 0.18
» Inlet / Outlet connection : 1/4″ Face seal-Male
» Materials : SUS316L
» Weight : 1.1kg
R26 레귤레이터는 판넬 마운팅이 가능한 반도체용 레귤레이터 입니다.
적용분야
» 반도체
Specifications
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입구압력 |
2MPa 이하 |
Cv |
0.18 |
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조정압력 |
Max. 0.99MPa |
사용온도 |
-10℃ ~ +40℃ |
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원압변동 |
0.1MPa당 조정 압력 변화량 0.0019MPa 이하 |
설치 |
기본 : 표면 나사 홀 |
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내압압력 |
22.2MPa |
무게 |
1.1kg |
Materials
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Model & Type |
R26SS |
R26SS-CO |
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Wetted Parts |
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Body |
SUS316L |
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Poppet & Seat Retainer |
SUS316L |
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Diaphragm |
SUS316L |
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Seat |
PTFE |
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Spring |
SUS316 |
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Gasket |
PTFE |
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Gasket to seal for gauge |
Ni |
SUS316 |
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Non-wetted Parts |
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Bonnet |
Nickel Plated Brass |
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Control Knob |
ABS Resin |
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O-ring |
NBR |
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List of specifications
* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.