초소형, 초고순도 레귤레이터
12 Series
» Inlet pressure : max.10.3bar
» Outlet pressure : 0~2.1, 0~4.1, 0~6.9bar
» Materials : SUS316L VAR
» Port size & type [Surface Mount] 1.125″ or 1.50″ footprint
[Welded Fittings] 1/4″ VCR or tube stubs
12 Series는 초소형, 초고순도 IGS/VCR 레귤레이터 입니다. 5 Ra 또는 10 Ra 마이크로인치 마감, 결합된 다이어프램 및 내부에 스프링과 나사산이 없는 구조를 제공합니다. 이 제품은 10.3bar의 입구 압력과 250mmHg-1.0, 2.1, 4.1, 6.9bar의 출구 압력 및 최대 120SLPM의 유량을 제공합니다.
특징
» SEMI F19 및 SEMI 모듈식 인터페이스 사양 충족
적용분야
Operating Parameters
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Max. Inlet Pressure |
150 psig / 10.3 bar |
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Max. Outlet Pressure |
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar |
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Design Proof Pressure |
150% maximum rated |
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Inboard Leak Rate |
<1 x 10-9 atm cc/sec He |
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Operating Temperature |
-40°C to 60°C |
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Flow Capacity |
Standard: Cv = 0.04 |
Materials
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Body |
316L VAR Stainless Steel |
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Diaphragm |
Nickel Alloy (Hastelloy®)* |
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Seat |
PCTFE |
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Valve Stem |
Nickel Alloy (Hastelloy®)* |
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Remaining Parts |
316L VAR Stainless Steel |
Other
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Connections |
Surface Mount |
1.125″ or 1.50″ footprint |
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Welded Fittings |
1/4″ VCR® or tube stubs |
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Internal Volume |
1/4″ VCR |
3.0 cc |
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1.125″ C Seal |
1.8 cc |
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1.50″ C Seal |
1.5 cc |
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Weight |
VCR®, IGS |
0.3 kg |
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A-Style |
0.5 kg |
* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.