Standard Mass Flow Meter
3760 Series
» MFM type : Analog
» Range : 10SCCM~20SLM
» Sensor : Thermal mass flow sensor
» Response : 2 sec. or less
» Accuracy : ±1.0% F.S. (25°C)
» Repeatability : ±0.5%F.S. (20℃)
» Output signal : 0–5 VDC (External load resistance: 250 kΩ or more)
» Electric connection : Dsub 9-pin connector as per KFC Standard
3760 시리즈는 3660 시리즈를 기반으로 개발된 소형의 저렴한 MFM입니다.
대학 및 연구소의 연구 개발을 위한 다양한 분석기 및 진공 장비의 표준모델로 개발되었습니다.
특징
» 대응 온도차 검출형 유량 센서의 개량으로 빠른 응답성 실현
» 컴팩트한 사이즈
적용분야
» 연구/실험실
» 각종 분석기기 및 진공장치
Standard Specifications
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Flow range |
10 SCCM–20 SLM (freely selectable) |
| Sensor |
Thermal mass flow sensor |
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Response |
2 sec. or less |
| Accuracy |
±1.0%F.S. (25℃) |
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Temperature coefficient |
±0.1 F.S./°C (15–35°C) |
| Repeatability |
±0.5%F.S. (20℃) |
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Proof pressure |
980kPa (G) |
| Leak rate |
1 × 10-8 Pa·m3 /s or less (excluding permeation of He) |
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Allowable ambient temperature |
5–45°C |
| Allowable ambient humidity |
10–90% (No condensation allowed) |
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Materials of parts in contact with gases |
Body: SUS316 |
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Sealing: FKM (option: CR or NBR) |
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Electric connection |
Dsub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard) |
| Flow rate output signals |
0–5 VDC (External load resistance: 250 kΩ or more) |
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Required power supply |
+15VDC (±5%) 100Ma, −15VDC (±5%)100mA |
| Joint (Main unit bore) |
Standard: 1/4SWL |
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Weight |
Approx. 800g |
Dimensions
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