Low-cost Metal Sealed Mass Flow Meter
5410 Series
» MFM type : Analog
» Range : 10SCCM~20SLM
» Sensor : Thermal mass flow sensor
» Accuracy : ±1.0% F.S. (20°C)
» Repeatability : Within ±0.2% F.S. (20°C)
» Output signal : 0–5 VDC
» Electric connection : Dsub 9-pin connector as per KFC Standard
5400 시리즈는 3440의 후속 모델로, 센서 구동 시스템이 개선되었습니다. 제로 드리프트가 더욱 줄어들고 더 낮은 범위의 응답이 향상됩니다.
특징
» 각 설정 범위의 제어 및 응답 향상
» 설정 전압에 대한 기능 향상 (ramping 사양 지원)
» 온도 추종형 전류차 검출 방식의 유량센서를 탑재하여 높은 정확도 및 빠른 응답 실현
» Conversion factor 교환 기능 – 멀티 가스 대응
적용분야
» 연구/실험실
» 각종 분석기기
Standard Specifications
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Model |
5410 |
| Flow range (N2 equivalent, 20°C/1 atm) |
10 SCCM–20 SLM (freely selectable) |
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Sensor |
Thermal mass flow sensor |
| Accuracy |
±1% F.S. (20°C) |
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Repeatability |
Within ±0.2% F.S. (20°C) |
| Allowable operating pressure |
300 kPa (G) or less |
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Proof pressure |
980 kPa (G) |
| Leak rate |
1 × 10-11 Pa·m3 /s or less |
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Allowable ambient temperature |
0–50°C (Accuracy guaranteed at 15–35°C, ±0.1% F.S./°C) |
| Allowable ambient humidity |
10–90% (No condensation allowed) |
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Materials of parts in contact |
Body: SUS316L |
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Diaphragm: Ni-Co |
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Valve seat: PTFE |
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Sealing: SUS316L, Ni |
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Electric connection |
Dsub 9-pin connector as per KFC Standard (Compliant with SEMI Standard) |
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Flow rate output signals |
0–5 VDC (Minimum load resistance: 250 kΩ or more) |
| Required power supply |
+15 VDC (±5%) 100 mA, −15VDC (±5%) 100mA |
| Joint (Main unit bore) |
Standard: 1/4 VCR equivalent Option: 1/4 SWL |
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Weight |
Approx. 800 g |
Dimensions
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