Precision MFC for Gases
CORI-FLOW (국내방폭MFC)
» Range : lowest range 0.2…5 kg/h
highest range 6…600 kg/h
» Accuracy : 0.5% of rate, range 1…100%
» Connections : 1/4” or 6 mm OD compression type
» Operating pressure : M55 – max. 100 bar; M54 – max. 200 bar
» Settling time : approx. 0.5 s
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : > 30 min. for optimum accuracy
CORI-FLOW 시리즈 MFC는 높은 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. CORI-FLOW는 특허받은 고급 코리올리형 직접 질량 유량 센서를 사용하여 압력, 온도, 밀도, 전도도 및 점도의 작동 조건이 변화하더라도 탁월한 성능을 달성합니다. 제어 밸브는 다음과 같은 질량 유량 범위를 측정하고 제어하기 위해 밀접하게 결합 될 수 있습니다. 컨트롤 밸브 설계는 진정한 모듈식 구조로 경쟁 설계와 차별화되며 사용자가 조정없이 현장에서 교체 할 수 있습니다. 표준 밸브는 정상적으로 닫히고 최대 Kv-값은 1.5입니다. 정상적으로 열린 밸브도 공급할 수 있습니다.
특징
» 국내 방폭 MFC
» 직접 질량 유량 측정
» 빠른 응답 시간
» 높은 정확도 (0.2% Rd for liquids, 0.5% Rd for gases)
» 소형 코리올리 컨트롤러
» 모든 습식 부품 스테인리스 스틸, 옵션 : Hastelloy-C22 » IP65 하우징
» ATEX 승인 Cat.3, Zone2 (옵션)
» 아날로그 플러스 디지털 통신
» 제어 밸브 또는 펌프를 위한 통합 PID 컨트롤러
» 배치 제어를 위한 통합 적산계
CORI-FLOW MFC 시리즈
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PN 100bar |
PN 200bar |
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M54 | 0.2 … 100 kg/h |
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| M55 | 0.5 … 600 kg/h |
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적용분야
» 반도체 처리
» 식음료 산업
» (석유) 화학 설비
인증
» 국내방폭인증
Technical specifications
| M54 | M55 | |
| Flow range (intermediate ranges available) | min. 0,1…10 kg/h max. 1…100 kg/h | min. 0,5…50 kg/h max. 6…600 kg/h |
| Mass flow accuracy | Liquid: ±0.2% of rate; Gas: ±0.5% of rate | Liquid: ±0.2% of rate; Gas: ±0.5% of rate |
| Turndown | up to 1:100 | up to 1:100 |
| Repeatability | ±0.1% of rate | ±0.1% of rate |
| Zero Stability (ZS) | < ±0.05 kg/h | < ±0.1 kg/h |
| Operating temperature | – standard: 0…70°C; – max. 50°C for ATEX Cat.3, Zone 2; – max. 120°C (ambient+fluid) for special version with remote electronics (130°C ≤ 1 hour allowed for CIP) | – standard: 0…70°C; – max. 50°C for ATEX Cat.3, Zone 2; – max. 120°C (ambient+fluid) for special version with remote electronics (130°C ≤ 1 hour allowed for CIP) |
| Mounting | Any position, attitude sensitivity negligible | Any position, attitude sensitivity negligible |
| Leak integrity | Outboard < 2 x 10-9 mbar l/s He | Outboard < 2 x 10-9 mbar l/s He |
| Warm-up time | > 30 min. for optimum accuracy | > 30 min. for optimum accuracy |
Control valve options
M54
| M54+C0I: Gas flow control valve | Kv-max= 6,6 x 10-2 |
| M54+C2I: Liquid flow control valve | Kv-max= 2,3 x 10-3 |
| M54+C5I: Gas/Liquid flow control valve | Kv-max= 6,6 x 10-2 |
| M54+F-004AI: Gas/Liquid flow control | Kv-max= 3,0 x 10-1 |
| M54+F-004BI: Gas/Liquid flow control | Kv-max= 1,0 |
M55
| M55+C0I: Gas flow control valve | Kv-max= 6,6 x 10-2 |
| M55+C2I: Liquid flow control valve | Kv-max= 2,3 x 10-3 |
| M55+C5I: Gas/Liquid flow control valve | Kv-max= 6,6 x 10-2 |
| M55+F-004AI: Gas/Liquid flow control | Kv-max= 3,0 x 10-1 |
| M55+F-004BI: Gas/Liquid flow control | Kv-max= 1,0 |
Mechanical parts
| M54 | M55 | |
| Material (wetted parts) | stainless steel 316L or comparable; optional: Hastelloy-C22 | stainless steel 316L or comparable |
| Pressure rating | 200 bar abs | 100 bar abs |
| Process connections (welded) | compression type or face seal couplings | compression type or face seal couplings |
| Seals | metal | metal |
| Ingress protection (housing) | IP65 (weatherproof) | IP65 (weatherproof) |
Electrical properties
| M54 / M55 | |
| Power supply |
+15…24 Vdc +/- 10% Max. ripple recommended: 50 mV tt |
| Power consumption | Meter: approx. 80 mA at 15 Vdc |
| Analog output |
0…5 (10) Vdc, min. load impedance > 2 kΩ; 0 (4)…20 mA (sourcing), max. load impedance < 375 Ω |
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Analog setpoint (for MFM + pump or control valve) |
0…5 (10) Vdc, min. load impedance > 424 kΩ; 0 (4)…20 mA (sourcing), max. load impedance ~ 250 Ω |
| Digital communication |
standard: RS232; options: PROFIBUS DP, DeviceNet™, Modbus RTU, FLOW-BUS |
Electrical connection
| M54 / M55 | |
| Analog/RS232 | 8-pin DIN (male); |
| PROFIBUS DP |
bus: 5-pin M12 (female); power: 8-pin DIN (male); |
| Devicenet™/FLOW-BUS/Modbus | 5-pin M12 (male); |