Laboratory style GAS MFC for OEM Applications
EL-FLOW Base
» Range : lowest range 0.2…10ml/min
highest range 4…200l/min
» Accuracy : ±1% of rate
» Connections : compression type (welded) or face seal couplings
» Operating pressure : max. 10 bar
» Settling time : 1 sec.
» Output signal : Analog, RS232 or Modbus-RTU or -ASCII (RS485)
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
2 min for accuracy ± 2% FS
EL-FLOW® Base Series는 일반적인 가스 유량 어플리케이션에서 정확한 측정, 빠른 응답 및 안정적인 제어를 제공합니다. EL-FLOW Base는 코팅 또는 용접 어플리케이션과 같은 (OEM) 시스템에 설치하기 위한 경제적인 솔루션입니다. 아날로그 I/O 신호와 디지털 RS232 통신 및 Modbus-RTU를 표준 기능으로 제공합니다.
특징
» 정확한 질량 유량 측정 및 제어
» 빠른 반응, 뛰어난 반복성
» 비용 효율적인 솔루션
» 아날로그 I / O 신호 : 0… 5 (10) Vdc 또는 0 (4)… 20 mA
» RS232 통신
» Modbus-RTU 또는 -ASCII
EL-FLOW Base MFC 시리즈
|
Model |
Min. flow |
Max. flow |
|
F-201CB |
0.2…10ml/min | 0.4…20l/min |
| F-201AB | 0.4…20l/min |
1.4…70l/min |
|
F-202BB |
1.4…70l/min |
4…200l/min |
적용분야
» 분석 기기
» 버너 제어 (용접)
» 표면 처리 (CVD, 코팅, 경화)
» 태양 전지 제작
» 식품, 제약 및 (석유) 화학 산업 및 발효 설비의 공정 가스 측정 및 제어
Performance
|
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration) |
±1% FS |
| Repeatability |
< 0.2% Rd |
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Settling time (controller) |
approx. 1 second |
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Control stability |
< ±0.1% FS (typical for 1 ln/min N2) |
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Turndown |
1 : 50 (2…100%) |
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Operating pressure |
0…10 bar(g) |
| Operating temperature |
F-201CB/AB : 0…50°C F-202BB : 10…50°C |
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Temperature sensitivity |
zero: < 0.1% FS/°C span: < 0.1% Rd/°C |
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Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy |
| Leak integrity, outboard |
tested < 2 x 10-9 mbar l/s He |
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Control valve |
normally closed solenoid valve F-201CB/F-201AB: Kv-max = 6,6 x 10-2 F-202BB: Kv-max = 3,5 x 10-1 |
Mechanical parts
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Material (wetted parts) |
Stainless Steel 316 or equivalent |
| Seals |
standard: Viton® option: Kalrez® (FFKM) |
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Process connections |
1/4” BSPP female thread optional accessories: compression type or face seal couplings in various inch or metric sizes |
Electrical properties
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Power supply |
+15…24 Vdc |
| Power consumption |
max. 320 mA |
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Analog output/command |
0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output) |
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Digital communication |
RS232 or Modbus-RTU or -ASCII (RS485) |
| Electrical connection |
9-pin D-connector (male) |
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EMC |
EU declaration |
| Ingress protection (housing) |
IP40 |
Electrical connections
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Analog/RS232 |
9-pin D-connector (male) |
| PROFIBUS DP |
bus: 9-pin D-connector (female) power: 9-pin D-connector (male) |
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DeviceNet™ |
5-pin M12-connector (male) |
| EtherCAT®/PROFINET |
2 x RJ45 modular jack (in/out) |
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Modbus/FLOW-BUS |
RJ45 modular jack |
| CE |
EMC 2014/30/EU, RoHS 2011/65/EU |
|
IEC 61010-1 |
2010 |
| Ingress protection (housing) |
IP40 |
*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.