High Performance Mass Flow Controller
EL-FLOW Prestige
» Range : lowest range 0.014…0.7ml/min
up to highest range 2…100l/min
» Accuracy : standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS
» Connections : compression type or face seal couplings
» Operating pressure : 10/64/100 bar
» Settling time : fast : < 500 msec
standard :< 1 sec
slow : < 2 sec
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min. for optimum accuracy
EL-FLOW® Prestige, 고객들의 요청에 의해 탄생한 차세대 MFC는 다양한 기능과 사용자측의 편의성에 초점을 맞춘 질량 유량계중 최고의 정점에 도달한 혁신적인 제품입니다. EL-FLOW Prestige는 멀티가스 / 멀티 유량범위 (MG/MR) 기능을 지원하여 100개의 가스를 선택하여 측정, 제어할 수 있습니다.
The Mass Flow Meter/Controller that adapts to your process
EL-FLOW Prestige MFC의 제어 성능은 사용처의 셋 포인트의 변화에 오버 플로우 없이 신속하게 대응하도록 설계되었습니다. 또한, 컨트롤러는 동일한 라인상 가스를 소비하는 다른 장치에 의한 충격과 압력 변동에 기계적 내구성이 뛰어나고, 즉각적인 유량보상이 이루어집니다. 옵션으로 사용자의 프로세스 요구에 따른 MFC의 추가적인 빠른 응답 또는 매끄러운 제어를 위해 튜닝을 할 수 있습니다 (settling times t98% down to 500 msec). 다이나믹한 작동을 위해 무료로 제공되는 소프트웨어 FlowTune™/ FlowPlot™을 통하여 작동속도를 조정함으로써 사용자의 요구에 의한 완벽한 설정이 가능합니다.
Select the I/O options of your preference
다양한 입/출력 옵션은 D-SUB 9-pin 을 통하여 이루어집니다. 다양한 아날로그 신호 및 스탠다드 RS-232통신, RS-485통신, 디지탈 주파수, 펄스출력, 알람출력, 리셋, 밸브퍼지, 밸브닫기, 아날로그 밸브 시그널 등 출력 가능합니다. 또한, Bronkhorst는 다양한 통합 필드버스 옵션을 다음과같이 제공합니다 : CANopen®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT® and FLOW-BUS. 특히 FLOW-BUS는 Bronkhorst® 에 의해 개발된 RS-485기반의 필드버스입니다. FLOW-BUS™ 인터페이스는 LabVIEW™ (graphical software by National Instruments) 작업고객의 편의를 위해 Bronkhorst는 인증된 plug & play 인스트루먼트 드라이버를 제공합니다.
특징
» 높은 정확도 (표준 0.5% Rd +0.1 FS)
» 최대 1:150의 디지털 모드 범위
» 다중 가스 / 다중 범위 기능
» 압력 등급 10/64/100bar
» 금속 하우징
EL-FLOW Prestige MFC 시리즈
|
Model |
Flow range (N2) | Pressure rating |
| FG-200CV | 0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min |
64 bar(g)/1000 psi(g) |
|
FG-200CVP |
0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min | 10 bar(g)/150 psi(g) |
| FG-210CV | 0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
|
FG-210CVP |
0.014…0.7ml/min up to 0.18…9ml/min | 100 bar(g)/1500 psi(g) |
| FG-201CV | 0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min |
64 bar(g)/1000 psi(g) |
|
FG-201CVP |
0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min | 10 bar(g)/150 psi(g) |
| FG-211CV | 0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
|
FG-211CVP |
0.14…7ml/min up to 0.4…20ml/min | 100 bar(g)/1500 psi(g) |
| FG-201AV | 0.2…10ml/min up to 2…100ml/min |
64 bar(g)/1000 psi(g) |
|
FG-211AV |
0.2…10ml/min up to 2…100ml/min |
100 bar(g)/1500 psi(g) |
적용분야
» 분석/환경 장비
» 식품, 화학 및 석유 화학 산업의 가스 흐름 모니터링
» 가스 분배 시스템의 가스 소비 측정
» 가스 누출 감지
» 반도체 제조
» 표면 처리 설비
동영상
Measurement/Control system
|
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration, according SEMI E69) |
standard: ±0.5% Rd plus ±0.1% FS (±0.8% Rd plus ±0,2% FS for ranges 3…5 ml/min; ±1% Rd plus ±1% FS for ranges < 3 ml/min) |
|
Repeatability |
0-20% < ± 0.04% FS; 20-100% < ± 0.2% Rd |
|
Turndown |
1:150; in analog mode 1:50 |
| Multi Gas/Multi Range gases |
embedded gas data for 100 unique gases (see FAQ section on our website) plus any mixture of maximum 5 of these gases. |
|
Settling time |
fast: < 500 msec standard: < 1 sec slow: < 2 sec |
|
Operating temperature |
-10…70°C |
|
Temperature sensitivity |
zero: < 0.02% FS/°C; span: < 0.025% Rd/°C |
|
Pressure sensitivity |
standard: < 0.15% Rd/bar typical N2; with pressure correction: < 0.02% Rd typical N2 |
| Accuracy of integrated pressure sensor (PI option) |
± 0.25% FS at ambient temperature |
|
Leak integrity, outboard |
tested < 2 x 10-9 mbar l/s He |
| Attitude sensitivity |
max. error at 90º off horizontal 0,07% FS at 1 bar, typical N2 |
|
Warm-up time |
30 min. for optimum accuracy |
Mechanical parts
|
Material (wetted parts) |
stainless steel 316L or comparable, degreased for use on oxygen (O2) |
|
Process connections |
compression type or face seal couplings |
|
Seals |
standard: Viton® options: EPDM, Kalrez® (FFKM), FDA and USP Class VI approved compounds (model FG-201CS excluded) |
Electrical properties
|
Power supply |
+15…24 Vdc | ||
|
Max. power consumption (controllers based on normally closed valve, pin 5 not used) : |
|||
|
Supply |
at voltage I/O | at current I/O | |
| Controller | 15V | 202mA |
225mA |
|
24V |
128mA |
146mA |
|
|
If applicable: PROFIBUS DP |
add 53 mA (15 V supply) or 30 mA (24 V supply) |
||
|
PROFINET |
add 76 mA (15 V supply) or 48 mA (24 V supply) | ||
|
EtherCAT® |
add 66 mA (15 V supply) or 41 mA (24 V supply) |
||
|
DeviceNet™ |
add 48 mA (24 V supply) |
||
|
Analog output/command |
0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output) |
||
|
Digital communication |
standard: RS232; options: PROFIBUS DP, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU or ASCII, FLOW-BUS |
||
Electrical connections
|
Analog/RS232 |
9-pin D-connector (male) |
| PROFIBUS DP |
bus: 9-pin D-connector (female) power: 9-pin D-connector (male) |
|
DeviceNet™ |
5-pin M12-connector (male) |
| EtherCAT®/PROFINET |
2 x RJ45 modular jack (in/out) |
|
Modbus/FLOW-BUS |
RJ45 modular jack |
| CE |
EMC 2014/30/EU, RoHS 2011/65/EU |
|
IEC 61010-1 |
2010 |
| Ingress protection (housing) |
IP40 |
*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.