Digital Thermal Liquid MFC
LIQUI-FLOW
» Range : lowest range 0.25…5g/h
up to highest range 20…1000g/h
» Accuracy : ±1% FS
» Connections : 1/8″, 1/4″, 6mm
» Operating pressure : 100 bar
» Settling time : < 2 seconds
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : 30 min for optimum accuracy;
10 min. for accuracy ±2% FS
유량 범위가 낮은 LIQUI-FLOW MFC는 열 통과 유량 측정 원리로 작동합니다. 이 기기에는 자체 진단, 알람 및 카운터 기능, 디지털 통신 (RS232) 및 다양한 필드 버스 옵션이 특징인
디지털 PC 보드가 장착되어 있습니다. 기본적으로 스테인리스강 튜브로 구성되고 히터 및 센서 구성은 튜브 외관부에 연결되어 있습니다. 풍속 측정 원리로 센서 튜브의 가는 금속 선을
전기적으로 가열하여 공기 흐름의 직각 방향에 두면, 저항선이 열을 빼앗겨 온도가 내려갑니다. 저항에 변화하는 원리로 일정 온도차는 에너지가 필요합니다.
Bronkhorst 사의 특별한 센서가 가진 특징은 최대 5℃ 온도 변화로 인해 낮은 비등점을 요구하는 액체 사용에 L10/L20 시리즈가 적합합니다.
유량제어는 액체 유량계 몸체의 통합 컨트롤 밸브와 분리된 구성 요소 (IP65 구성)로 탑재되어 유량 제어가 이루어집니다. 시스템 구동시, 컨트롤러 밸브는 공기 및 사용 기체를
용이하게 하기 위해 슬리브 윗부분에 퍼지 연결부를 가집니다. 액체 유량계 컨트롤러는 일반적으로 전기 회로망의 일부로 이루어져 별도의 외부 컨트롤러가 필요하지 않습니다.
특징
» 빠르고 정확한 측정 신호
» 설치 포지션의 제약이 적음
» 내부 용적이 매우 작음
» 낮은 비등점 액체에 적합함
» 연구시설 및 OEM 적용
» 산업 분야 적용가능 (IP65 하우징, ATEX Cat.3, Zone 2)
디지털 특징
» DeviceNet, Profibus-DP, Modbus-RTU, EtherCAT 또는 FLOW-BUS 슬레이브
» RS232 인터페이스
» 경보 및 적산 기능
LIQUI-FLOW MFC 시리즈 (PN100)
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Model |
min. flow | max. flow |
| L13V12 | min. 0.25…5 g/h |
max. 5…100 g/h |
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L23V12 |
min. 2…100 g/h |
max. 20…1000 g/h |
적용분야
» 반도체 산업
» HPLC 응용
» 화학 산업
» 식품, 의약 산업
» 분석적 연구 시설
Measurement / Control system
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Accuracy, standard |
±1% F.S. |
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Turndown |
L10 Series 1 : 20 (5 … 100%) |
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Reproducibility |
±0.2% F.S. typical H2O |
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Settling time (controller) |
< 2 seconds |
| Operating temperature |
5…50°C |
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Temperature sensitivity |
±0.1% FS/°C |
| Attitude sensitivity |
negligible |
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Warm-up time |
30 min for optimum accuracy; |
Mechanical parts
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Material (wetted parts) |
Stainless steel 316L / 320; other on request |
| Process connections |
1/8”, 1/4” or 6 mm OD compression |
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Purge connection (controller) |
1/16” OD compression type |
| Seals |
Kalrez-6375; other on request |
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Ingress protection (housing) |
IP40 or IP65 |
Electrical properties
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Power supply |
+15…24 Vdc | ||
| Max. power consumption | Supply | at voltage I/O |
at current I/O |
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Controller |
15 V | 285 mA | 305 mA |
| 24 V | 250 mA |
270 mA |
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Extra for fieldbus: PROFIBUS DP |
add 53 mA (at 15 V) or 30 mA (at 24 V) | ||
| (if applicable) EtherCAT® |
add 66 mA (at 15 V) or 41 mA (at 24 V) |
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DeviceNetTM |
add 48 mA (at 24 V) | ||
| Analog output/command |
0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 Ma |
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Digital communication |
Standard: RS232 |
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*더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.