Ultra Low-Flow Thermal Liquid MFC
µ-FLOW
» Range : lowest range 5…100 mg/h
up to highest range 0.1…2 g/h
» Accuracy : ±2% FS
» Connections : 30…100 mg/h: 10-32 UNF female only
>100 mg/h: 10-32 UNF female
1/16” or 1/8” OD compression;
» Operating pressure : 100 bar
» Settling time : 2~4 seconds
» Output signal : Analog, RS232
» Warm-up time : approx. 10 min. for accuracy ±2% FS
μ-FLOW MFM 모델 L01 액체유량계 (LPM)는 최대 400bar의 작동 압력에서 5…100mg/h와 0.11…2g/h 사이의 유량 범위를 정확하게 측정하는데 적합합니다.
LFM은 열 질량 유량 센서와 신호 및 필드 버스 변환 기능이 있는 마이크로 프로세서 기반 PC 보드 및 별도로 장착된 제어 밸브를 통한 옵션 질량 유량 제어를 위한 PID 컨트롤러로 구성됩니다.
μ-FLOW 시리즈에는 디지털 PC 보드가 장착되어 있어 높은 정확도, 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC 보드에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 표준 RS232 출력 외에도 계측기는 아날로그 I/O도 제공합니다. 옵션으로, 온보드 인터페이스를 장착하여 DeviceNet, PROFIBUS DP, Modbus 또는 FLOW-BUS 프로토콜을 제공 할 수 있습니다.
특징
» 구동부가 없음
» 빠르고 정확한 측정
» 제어밸브 결합으로 지속적이고 안정적인 제어
» 아날로그 또는 디지털 : RS232, PROFIBUS DP, DeviceNet, Modbus 또는 FLOW-BUS
» 스테인레스 스틸 센서
» 새로운 기능 : 100~450mg/h FS에서 1000bar (15000psi) LFM (H2O 기준)
적용분야
» 제약 산업
» 식품 산업 (향료, 첨가제)
» 생명 공학 산업
» 분석 실험실
» 증발 공정
» HPLC/UPLC 응용
Measurement / Control system
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Flow range, based on H2O |
min. 5…100 mg/h max. 0.1…2 g/h |
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Accuracy (incl. linearity) |
±2% FS |
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Turndown |
1:20 (5…100%) |
| Repeatability |
< 0.2% FS (typical H2O) |
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Settling time |
2…4 seconds |
| Max. Kv-value |
2.37×10-3 |
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Max. fluid viscosity |
0.1 Pa*s |
| Operating temperature |
5…50°C |
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Temperature sensitivity |
±0.2% FS/°C |
| Attitude sensitivity |
negligible |
| Warm-up time |
approx.10 min. for accuracy ± 2% FS |
Mechanical parts
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Material (wetted parts) |
stainless steel 316L/320; |
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Pressure rating |
100 bar abs |
| Max. ΔP |
10 bar dif. |
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Process connections |
1/16” or 1/8” OD compression type; other on request |
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Purge connection |
1/16” OD compression type |
| Seals |
Kalrez®-6375; |
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Ingress protection (housing) |
IP40 |
Electrical properties
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Power supply |
+15…24 Vdc +/-10% | ||
| Max. power consumption | Supply 15 V 24 V |
at voltage I/O 285 mA 250 mA |
at current I/O |
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PROFIBUS DP |
add 53 mA (15 V supply) or 30 mA (24 V supply) | ||
| DeviceNet™ |
add 48 mA (24 V supply) |
||
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Analog output/command |
0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output) | ||
| Digital communication |
standard: RS232; |
||
Electrical connection
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Analog/RS232 |
9-pin D-connector (male) |
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PROFIBUS DP |
bus: 9-pin D-connector (female); |
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DeviceNet™ |
5-pin M12-connector (male) |
| FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCII |
RJ45 modular jack |
* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.