Flowmeter with Bellows Needle Valve

RK1500

» Fluids [Gas] Air, N2, H2, He, Ar, and CO2
               [Liquids] Water
» Flow range [Gas] 0.5~5ML/min to 3~30L/min
                        [Liquids] 0.5~5ML/min to 0.1~1L/min
» Accuracy : FS±2% (Measurement point)
» Available scale : 10:1

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KOFLOC RK1500 시리즈는 Bellows seal type needle valve가 내장되어 있어 고진공, 고압, 고온 및 유독가스에 사용이 가능한 모델입니다.

특징

» 출고 전, 헬륨 리크테스트를 진행하므로 리크에 대한 높은 신뢰성 보장
» 유체에 노출되는 부품은 SUS316, FKM, fluorocarbon resin and Pyrex glass을 사용하여 우수한 내부식성 보장

적용분야

» 진공 시스템용
» 반도체 제조 라인

Specifications

Gases Liquids
Fluids Air, N2, O2, H2, He, Ar, and CO2 (Calibration by actual gas)
For other gases, consultation is necessary regarding whether conversion conditions or calibration by actual gas is to be used.
* Optional: Scale indicating two types of fluids

Standard fluid: Water
For other liquids, consultation is necessary regarding whether conversion conditions or calibration by actual liquid is to be used.

Flow range

 0.5~5ML/min, 3~30L/min (See the Capacity Table below.)
※Optional : 0.5~3ML/min		 0.5~5ML/min, 0.1~1L/min (See the Capacity Table below.)
※ Optional : 0.5~3ML/min
Accuracy F.S. ± 2% (Measurement point)
※Optional : F.S. ± 1%(Measurement point)

F.S. ± 2% (Measurement point)

Proof pressure

 1.0 MPa for 100ML/min or less
0.7 MPa for 5L/min or less
0.5 MPa for 10L/min or more		 1.0 MPa for 5 ML/min or less
0.7 MPa for 150 ML/min or less
0.5 MPa for 200 ML/min or more
Available scale

10 : 1
※Optional : 20 : 1

Materials

Material

 SS
Body block

SUS316

Tapered tube

Pyrex®, glass

Packing

 FKM, fluorocarbon resin
Float

Pyrex, SUS 316, glass

Protective cover

 Acrylic resin
Temperature resistance

Max 60℃

* 더 자세한 사양은 카달로그를 참고해주시기 바랍니다.

  카달로그 – Kofloc RK1500_Catalogue (EN)